Effects of accelerating voltage and pattern size on electron scattering by electron-beam mask

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 15, Issue 6, 1997, Pages 2263-2268

  Yamashita, Hiroshi ^a,b   Nomura, Eiichi ^b   Nozue, Hiroshi ^b  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^b NEC CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0041006321     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.589626     Document Type: Article

References (18)

1. H. C. Pheiffer, IEEE Trans. Electron Devices 26, 663 (1979).
2. Y. Nakayama, S. Okazaki, N. Saitou, and H. Wakabayashi, J. Vac. Sci. Technol. B 8, 1836 (1990).
3. H. Yasuda, K. Sakamoto, A. Yamada, and K. Kawashima, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 3098 (1991).
4. Y. Sakitani, H. Yoda, H. Todokoro, Y. Shibata, T. Yamazaki, K. Ohbitu, N. Saitou, S. Moriyama, S. Okazaki, G. Matuoka, F. Murai, and M. Okumura, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2759 (1992).
5. K. Hattori, R. Yoshikawa, H. Wada, H. Kasukabe, T. Yamaguchi, S. Magoshi, A. Miyagaki, S. Yamasaki, T. Takigawa, M. Kanoh, S. Nishimura, H. Housai, and S. Hashimoto, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2346 (1993).
6. H. Yamashita, H. Nozue, E. Nomura, K. Itoh, T. Ema, S. Hirasawa, K. Kojima, T. Tamura, and K. Nakajima, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 6404 (1996).
7. H. Yamashita, K. Tokunaga, E. Nomura, Y. Kojima, and H. Nozue, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2473 (1995).
8. H. Yamashita, T. Tamura, E. Nomura, and H. Nozue, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 6684 (1995).
9. H. Yamashita, E. Nomura, E. Ema, K. Itoh, and H. Nozue, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3845 (1996).
10. K. Itoh, H. Yamashita, T. Ema, and H. Nozue, Proc. SPIE 2793, 230 (1996).
11. Y. Shoda, Y. Someda, H. Satoh, Y. Nakayama, N. Saitou, and H. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 6940 (1994).
12. J. S. Greeneich, Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication, edited by G. R. Brewer (Academic, New York, 1980), Chap. 2, p. 77.
13. T. E. Everhart and P. H. Hoff, J. Appl. Phys. 42, 5834 (1971).
14. S. D. Berger, J. M. Gibson, R. M. Camarda, R. C. Farrow, H. A. Huggins, J. S. Kraus, and J. A. Liddle, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2996 (1991).
15. J. A. Liddle, H. A. Huggins, S. D. Berger, J. M. Gibson, G. Weber, R. Kola, and C. W. Jurgensen, J. Vac, Sci. Technol. B 9, 3000 (1991).
16. P. D. Miller, J. M. Gibson, A. J. Bleeker, and J. A. Liddle, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2352 (1993).
17. J. A. Liddle and C. A. Volkert, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3528 (1994).
18. J. A. Liddle, H. A. Huggins, and G. P. Watson, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2483 (1995).