Oxidation and stabilization of unreconstructed hydrogen- and flourine-terminated Si(100) surface: A periodic density functional study

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 102, Issue 46, 1998, Pages 9215-9223

  Chatterjee, Abhijit ^a   Iwasaki, Takashi ^a   Ebina, Takeo ^a   Kubo, Momoji ^b   Miyamoto, Akira ^b  

^a TOHOKU NATL INDUST RES INSTITUTE   (Japan)

^b TOHOKU UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0037606577     PISSN: 10895647     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (48)

1. Engel, T. Surf. Sci. Rep. 1993, 18, 91.
2. Irene, E. A. CRC Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 1988, 14, 175.
3. Sofield, C. J.; Stoneham, A. M. Semicond. Sci. Technol. 1995, 10, 215.
4. Balk, P. Mater. Sci. Monogr. 1988, 32.
5. Ohashi, M.; Hattori, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1997, 36, L397.
6. Ohmori, K.; Ikeda, H.; Iwano, H.; Zaima, S.; Yasuda, Y. Appl. Surf. Sci. 1997, 117/118, 114.
7. Ikeda, H.; Nakagawa, Y.; Toshima, M.; Furuta, S.; Zaima, S.; Yasuda, Y. Appl. Surf. Sci. 1997, 117/118, 109.
8. Himpsel, F. J.; McFeely, F. R.; Talab-Ibrahimi, A.; Yarmoff, J. A.; Hollinger, G. Phys. Rev. B 1988, 38, 6084.
9. Ciraci, S.; Ellialtioglu, S.; Erkoe, S. Phys. Rev. B 1982, 26, 5716.
10. Hofer, U.; Morgan, P.; Wurth, W.; Umbach, E. Phys. Rev. Lett. 1985, 55, 2979.
11. Chan, M.; Batra, I. P.; Brandie, C. R. J. Vac. Sci. Technol. 1979, 16, 1216.
12. Kunjunney, T.; Ferry, D. K. Phys. Rev. B 1981, 24, 4593.
13. Ellialtioglu, S.; Ciraci, S. Solid State Commun. 1982, 42, 869.
14. Schaefer, J. A.; Stucki, F.; Frankel, D. J.; Gopel, W.; Lapeyre, G. J. J. Vac. Sci. Technol. B. 1984, 2, 359.
15. Schaefer, J. A.; Gopel, W. Surf. Sci. 1985, 155, 535.
16. Genzebrock, F. H.; Babasaki, Y.; Tanaka, M.; Nakamura, T.; Namiki, A. Surf. Sci. 1993, 297, 141.
17. Coburn, J. W.; Winters, H. F. Amu. Rev. Mater. Sci. 1983, 13, 91.
18. Chuang, T. J. J. Appl. Phys. 1980, 51, 2614.
19. Mucha, J. A.; Donnelly, V. M.; Flamm, D. L.; Webb, L. M. J. Phys. Chem. 1981, 85, 3529.
20. Gruntz, K. J.; Ley, L.; Johnson, R. L. Phys. Rev. B 1981, 24, 2069.
21. Coburn, J. W.; Chen, M. J. Appl. Phys. 1980, 51, 3134.
22. Shinn, N. D.; Morar, J. F.; McFeely, F. R. J. Vac. Sci. Technol. 1984, A2, 1593.
23. Stinespring, C. D.; Freedman, A. Appl. Phys. Lett. 1986, 48, 718.
24. McFeely, F. R.; Morar, J. F.; Himpsel, F. J. Surf. Sci. 1986, 165, 277.
25. Winters, H. F.; Coburn, J. W.; Chuang, T. J. J. Vac. Sci. Technol. 1983, B1, 469.
26. Engstrom, J. R.; Nelson, M. M.; Engel, T. Surf. Sci. 1989, 215, 437.
27. Aoyama, T.; Yamazaki, T.; Ito, T. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2577.
28. Aliev, V. S.; Kruchinin, V. N.; Baklanov, M. R. Surf. Sci. 1996, 347, 97.
29. Weakleim, P. C.; Wu, C. J.; Carter, E. A. Phys. Rev. Lett. 1992, 69, 200.
30. Weakleim, P. C.; Carter, E. A. J. Chem. Phys. 1993, 98, 737.
31. Dsolid User Guide, MSI, Sandiego, October 1995.
32. Kohn, W.; Sham, L. J. Phys. Rev. A 1965, 140, 1133.
33. Vosko, S. H.; Wilk, L.; Nusair, M. Can. J. Phys. 1980, 58, 1200.
34. Delley, B. J. Chem. Phys. 1990, 92, 508.
35. Velde, G. te.; Baerends, E. J. Phys. Rev. B 1991, 44, 7888.
36. Ewald, P. P. Ann. Phys. 1921, 64, 253.
37. Delley, B. J. Phys. Chem. 1996, 100, 6107.
38. Vetrivel, R.; Deka, R. C.; Chatterjee, A.; Kubo, M.; Broclawik, E.; Miyamoto, A. Theor. Comput. Chem. 1996, 3, 509.
39. Uhrbarg, R. I. G.; Hansson, G. V., Flodstrom, J. M. Phys. Rev. B 1981, 24, 4684.
40. Zhu, Z.; Shima, N.; Tsukada, M. Phys. Rev. B 1989, 24, 2303.
41. Roberts, N.; Needs, R. J. Surface Sci. 1990, 236, 112.
42. Silvi, B.; Fourati, N.; Nada, R.; Callow, C. R. A. J. Phys. Chem. Solids 1991, 52, 1005.
43. Fahmi, A.; Minot, C., Silvi, B.; Causa, M. Phys. Rev. B 1993, 47, 11717.
44. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 1372.
45. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1993, 98, 1293.
46. Wu, C. J.; Carter, E. A. Phys. Rev. B 1992, 45, 9065.
47. Ikeda, H.; Hotta, K.; Yamada, T.; Zaima, S.; Iwano, H.; Yasuda, Y. J. Appl. Phys. 1995, 77, 5125.
48. Takahagi, T.; Ishitani, A.; Kuroda, H. J. Appl. Phys. 1990, 68, 2187.