Radio frequency magnetron sputtering deposition of hetero-epitaxial strontium barium niobate thin films (SrxBa1-xNb2O6)

Journal of Applied Physics

Volumn 93, Issue 3, 2003, Pages 1718-1724

  Cuniot Ponsard, M ^a   Desvignes, J M ^a   Ea Kim, B ^a   Leroy, E ^b  

^a UNIV PARIS SUD   (France)

^b CNRS   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EPITAXIAL GROWTH; MAGNETRON SPUTTERING; MIRRORS; OPTICAL PROPERTIES; OPTICAL WAVEGUIDES; STRONTIUM COMPOUNDS;

RADIO FREQUENCY MAGNETRON SPUTTERING;

THIN FILMS;

EID: 0037320109     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1535749     Document Type: Article

References (18)

1. Z. Lu, S. Feigelson, R. K. Route, R. Hiskes, and S. A. Dicarolis, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 335, 59 (1994).
2. M. J. Nystrom, B. W. Wessels, W. P. Lin, G. K. Wong, D. A. Neumayer, and T. J. Marks, Appl. Phys. Lett. 66, 1726 (1995).
3. S. Schwyn Thöny, K. E. Youden, J. S. Harris, Jr., and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 65, 2018 (1994).
4. D. Trivedi, P. Tayebati, and M. Tabat, Appl. Phys. Lett. 68, 3227 (1996).
5. M. Nakano, H. Tabata, K. Tanaka, Y. Katayama, and T. Kawai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1331 (1997).
6. K. Tanaka, O. Nakagawara, M. Nakano, T. Shimuta, H. Tabata, and T. Kawai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 6142 (1998).
7. J. G. Zhu, S. K. Singh, P. A. Thomas, and S. B. Palmer, Philos. Mag. A 79, 2869 (1999).
8. L. D. Zhu et al., Appl. Phys. Lett. 67, 1836 (1995).
9. W. Sakamoto, T. Yogo, K. Kikuta, A. Kawase, and S. Hirano, J. Am. Chem. Soc. 79, 2283 (1996).
10. J. Koo, J. H. Jang, and B.-S. Bae, J. Am. Chem. Soc. 84, 193 (2001).
11. A. D. Li, C. L. Mak, K. H. Wong, D. Wu, and N. B. Ming, J. Mater. Res. 16, 3179 (2001).
12. V. D. Antsigin, V. M. Egorov, E. G. Kostsov et al., Ferroelectrics 63, 235 (1985).
13. R. R. Neurgaonkar et al., Mater. Res. Bull. 26, 983 (1991).
14. C.-A. Jong and J.-Y. Gan, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 39, 545 (2000).
15. Y. S. Yang, M. K. Ryu, H. J. Joo, S. H. Lee, S. J. Lee, K. Y. Kang, and M. S. Jang, Appl. Phys. Lett. 76, 3472 (2000).
16. A. M. Prokhorov and Yu S. Kuz'minov, Ferroelectric Crystals for Laser Radiation Control (Adam Hilger, Boston, 1990), p. 81.
17. P. B. Jamieson, S. C. Abrahams, and J. L. Bernstein, J. Chem. Phys. 48, 5048 (1968).
18. J. R. Carruthers and M. Grasso, J. Electrochem. Soc. 117, 1426 (1970).