Implanted dielectrics: Synchrotron radiation studies by absorption and diffraction techniques

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

Volumn 200, Issue , 2003, Pages 126-137

  Maurizio, C ^a   Gonella, F ^b   Cattaruzza, E ^b   Mazzoldi, P ^a   D'Acapito, F ^c  

^a UNIVERSITY OF PADOVA   (Italy)

^b INFM   (Italy)

^c EUROPEAN SYNCHROTRON RADIATION FACILITY   (France)

Author keywords

EXAFS; Ion implantation; Nanoclusters; X ray diffraction

Indexed keywords

ANNEALING; DIELECTRIC MATERIALS; ELECTROMAGNETIC WAVE ABSORPTION; GALLIUM NITRIDE; NANOSTRUCTURED MATERIALS; SEMICONDUCTING GALLIUM ARSENIDE; SYNCHROTRON RADIATION; X RAY DIFFRACTION;

NANOCLUSTERS;

ION IMPLANTATION;

EID: 0037246166     PISSN: 0168583X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0168-583X(02)01708-1     Document Type: Conference Paper

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