Production of innovative geometries with UV lasers

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 4637, Issue , 2002, Pages 280-290

  Ostendorf, Andreas ^a   Kulik, Christian ^a   Stute, Uwe ^a  

^a LASER ZENTRUM HANNOVER E V   (Germany)

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CERAMIC MATERIALS; GLASS; LASER ABLATION; LIGHT REFLECTION; MICROELECTRONICS; MICROMACHINING; MICROSTRUCTURE; POLYMERS;

ULTRAVIOLET (UV) LASERS;

EXCIMER LASERS;

EID: 0036403630     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.470634     Document Type: Conference Paper

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