Optical and electronic properties of TiCxNy films

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 6, 2001, Pages 2737-2743

  Fuentes, G G ^a   Elizalde, E ^a   Sanz, J M ^a  

^a INSTITUTO NICOLÁS CABRERA   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035883761     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1394157     Document Type: Article

References (40)

1. J. S. Zabinski and A. A. Voevodin, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1890 (1998).
2. S. Vep̌rek, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2401 (1999).
3. P. A. Steinman and H. E. Hintermann, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 2394 (1985).
4. J. Deng and M. Braun, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 733 (1994).
5. Q. Z. Hong, S. P. Jeng, R. H. Havemann, H. L. Tsai, H. Y. Liu, J. Appl. Phys. 78, 7419 (1995).
6. J. S. Chun, I. Petrov, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 86, 3633 (1999).
7. Transition Metal Carbides and Nitrides, edited by L. E. Toth (Academic, New York, 1971).
8. M. Delfino, J. A. Fair, and D. Hodul, J. Appl. Phys. 71, 6079 (1992).
9. L. I. Johansson, P. M. Stefan, M. L. Shek, and A. N. Christensen, Phys. Rev. B 22, 1032 (1980).
10. S. V. Didziulis, J. R. Lince, T. B. Stewart, and E. A. Eklund, Inorg. Chem. 33, 1979 (1994).
11. C. G. H. Walker, C. A. Anderson, A. McKinley, N. M. D. Brown, and A. M. Joyce, Surf. Sci. 383, 248 (1997).
12. G. G. Fuentes, I. G. Mancheño, F. Balbás, C. Quirós, J. F. Trigo, F. Yubero, E. Elizalde, and J. M. Sanz, Phys. Status Solidi A 175, 429 (1999).
13. J. Pflüger, J. Fink, W. Weber, K. P. Bohnen, and C. Grecelius, Phys. Rev. B 30, 1155 (1984).
14. J. Pflüger, J. Fink, G. Crecelius, K. P. Bohnene, and H. Winter, Solid State Commun. 44, 489 (1982).
15. L. Soriano, M. Abbate, H. Pen, P. Prieto, and J. M. Sanz, Solid State Commun. 102, 291 (1997).
16. A. Neckel, P. Rastl, R. Eibler, P. Weinberger, and K. Schwarz, J. Phys. C 9, 579 (1976).
17. P. Weinberger, Phys. Status Solidi B 98, 207 (1980).
18. J. Klima, J. Phys. C 15, 689 (1982).
19. A. I. Ivanovskii and G. P. Shveinkin, Phys. Status Solidi B 181, 251 (1994).
20. A. Schlegel, P. Wachter, J. J. Nickl, and H. Lingg, J. Phys. C 10, 4889 (1977).
21. D. W. Lynch, C. G. Olson, D. J. Peterman, and J. H. Weaver, Phys. Rev. B 22, 3991 (1980).
22. T. Koide, T. Shidara, H. Fukutani, A. Fujimori, S. Otani, and Y. Ishizawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 32, 1130 (1993).
23. J. Humlícek, A. Nebojsa, J. Hora, M. Stráský, J. Spousa, and T. Sikola, Thin Solid Films 332, 25 (1998).
24. J. H. Kang and K. J. Kim, J. Appl. Phys. 86, 346 (1999).
25. J. P. A. M. Driessen, A. D. Kuypers, J. Schoonman, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1971 (2000).
26. M. Eizenberg, K. Littau, S. Ghanayem, M. Liao, and A. K. Sinha, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 590 (1995).
27. J. S. Koehler, Phys. Rev. B 2, 547 (1970).
28. J. Petru and J. Klima, Z. Phys. B: Condens. Matter 73, 213 (1988).
29. S.-H. Jhi and J. Ihm, Phys. Rev. B 56, 13826 (1997).
30. V. P. Zhukov, V. A. Gubanov, O. Jepsen, N. E. Christensen, and O. K. Andersen, Philos. Mag. B 58, 139 (1988).
31. B. Karlsson, J.-E. Sungren, and B.-O. Johansson, Thin Solid Films 87, 181 (1982).
32. J. F. Alward, C. Y. Fong, M. El-Batanouny, and F. Wooten, Phys. Rev. B 12, 1105 (1975).
33. P. E. Schmid, M. S. Sunaga, and F. Lévy, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 2870 (1998).
34. A. T. Paxton, M. Van Schilfgaarde, M. McKenzie, and A. J. Craven, J. Phys.: Condens. Matter 12, 729 (2000).
35. J. Plüger and J. Fink in Handbook of Optical Constants of Solids II, edited by E. D. Palik (Academic, New York, 1991), p. 293.
36. S. T. Oyama, in The Chemistry of Transition Metal Carbides and Nitrides, edited by S. T. Oyama (Blackie Academic and Professional, Glasgow, 1996).
37. J. Izquierdo, A. Vega, S. Bouarab, and M. A. Khan, Phys. Rev. B 58, 3507 (1998).
38. A. M. Bradshaw, J. F. van der Veen, F. J. Himpsel, and D. E. Eastman, Solid State Commun. 37, 37 (1980).
39. K. Edamoto, T. Anazawa, A. Mochida, T. Itakura, E. Miyazaki, H. Kato, and S. Otani, Phys. Rev. B 46, 4192 (1992).
40. A. J. Perry, M. Georgson, and W. D. Sproul, Thin Solid Films 157, 255 (1988).