Optical properties and electron spectroscopy characterization of AlxTiyOz thin films

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 16, Issue 6, 1998, Pages 3477-3482

  Yubero, F ^a   Stabel, A ^a,b   Gonzalez Elipe A R ^a  

^a INSTITUTO DE CIENCIA DE MATERIALES DE SEVILLA   (Spain)

^b STATOIL   (Norway)

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EID: 0032359993     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.581506     Document Type: Article

References (30)

1. M. Cevro, Thin Solid Films 258, 91 (1995).
2. A. Feldman, E. N. Farabangh, W. K. Haller, D. M. Sanders, and R. A. Stempniak, J. Vac. Sci. Technol. A 4. 2969 (1986).
3. H. Sankur and W. J. Gunning, J. Appl. Phys. 66, 4747 (1989).
4. M. F. Quellette, R. V. Lang, K. L. Yan, R. W. Bertram, and R. S. Owles, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 1188 (1991).
5. A. Stabel, A. Caballero, J. P. Espinós, F. Yubero, A. Justo, and A. R. González-Elipe, Surf. Coat. Technol. 100-101, 137 (1998).
6. D. Leinen, G. Lassaletta, A. Fernández, A. Caballero, A. R. González-Elipe, J. M. Martin, and B. Vacher, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2842 (1996).
7. A. V. Richthofen, R. Cremer, R. Domnick, D. Neuschütz, and Fresenius, J. Anal. Chem. USSR 358, 308 (1997).
8. R. Cremer, M. Witthaut, A. V. Richthofen, and D. Neuschütz, Proc. ECASIA 97 (TC02), 1997, p. 927.
9. F. Yubero and S. Tougaard, Phys. Rev. B 46, 2486 (1992).
10. F. Yubero, J. M. Sanz, B. Ramskov, and S. Tougaard, Phys. Rev. B 53, 9719 (1996).
11. F. Yubero, V. M. Jiménez, and A. R. González-Elipe, Surf. Sci. 400, 116 (1998).
12. F. Yubero, J. P. Espinós. and A. R. González-Elipe, J. Vac. Sci. Technol. A 16, (1998).
13. J. P. Espinós. A. Fernández, A. Caballero, V. M. Jiménez, J. C. Sánchez-López. L. Contreras, D. Leinen, and A. R. González-Elipe, Adv. Mater. 3, 219 (1997).
14. S. Swanepoel. J. Phys. E 16, 1213 (1983).
15. L. R. Doolittle, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 9, 344 (1985).
16. A. R. González-Elipe, J. M. Sanz, A. Fernández, J. P. Espinós, and G. Munuera, Surf. Interface Anal. 19, 286 (1992).
17. S. Tougaard and I. Chorkendorff, Phys. Rev. B 35, 6570 (1987).
18. I. H. Malitson, F. V. Murphy, and W. S. Rodeny, J. Opt. Soc. Am. 48, 72 (1958).
19. A. Caballero, D. Leinen, A. Fernández, and A. R. González-Elipe, Surf. Coat. Technol. 80, 23 (1996).
20. P. J. Martin, J. Mater. Sci. 21, 1 (1986).
21. E. Gillet and B. Ealet, Surf. Sci. 273, 427 (1992).
22. E. Bertel, R. Stockbauer, and T. E. Madey, Surf. Sci. 141, 355 (1984).
23. R. H. Ritchie, Phys. Rev. 106, 874 (1957).
24. Y. W. Chung, W. J. Lo, and G. A. Somorjay, Surf. Sci. 64, 588 (1977).
25. R. L. Kurtz and V. E. Henrich, Phys. Rev. B 25, 3563 (1982).
26. P. B. Smith and S. L. Bernasek, Surf. Sci. 188, 241 (1987).
27. C. D. Wagner, Faraday Discuss. Chem. Soc. 60, 291 (1975).
28. T. D. Thomas, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 20, 117 (1980).
29. G. Moretti, Surf. Interface Anal. 16, 159 (1990).
30. C. Dhanavantri and R. N. Karekar, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 61, 357 (1993).