Etching characteristics of Si 1-xGe x alloy using Cl 2-assisted Ar ion beam etching

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 31, Issue 5, 1997, Pages 741-747

  Yu, H W ^a   Youn, C J ^a  

^a Chonbuk National University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0031327593     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (18)

1. A. Schüppen, A. Gruhle, U. Erben, H. Kibbel and U. König, Tech Dig. IEDM 94, 377 (1994).
2. J. Welser, J. L. Hoyt and J. F. Gibbons, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 2419 (1994).
3. U. König, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 281, 387 (1993).
4. T. P. Pearsall, H. Ternkin, J. C. bean and S. Luryi, IEEE. Elect. Dev. Lett. EDL-7, 330 (1986).
5. G. S. Oehrlein, G. M. W. Kroesen, E. de Fresart, Y. Zhang and T. D. Bestwick, J. Vac. Sci. Tech. A9, 768 (1991).
6. Y. Zhang, G. S. Oehrlein, E. de Fresart and J. W. Corbet, Appl. Phys. Lett. 71, 1936 (1992).
7. J. G. Gouillard and H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Tech. B11, 717 (1993).
8. G. S. Oehrlein, T. D. Bestwick, P. L. Jones and J. W. Corbet, Appl. Phys. Lett. 56, 1436 (1990).
9. H. H. Richter, A. Wolff, B. Tillack and T. Skaloud, Mat. Sci. Eng. B27, 39 (1994).
10. B. Tillack, H. H. Richter, G. Ritter, A. Wolff, G. Morgenstern and C. Eggs, J. Vac. Sci. Tech. B4, 102 (1996).
11. Y. T. Hwang, H. J. Lee, K. H. Lee and J.-K. Lee, J. Korean Phys. Soc. 29, 614 (1996).
12. A. Splett, T. Zinke, K. Petermann, E. Kasper, H. Kibbel, H.-J. Herzog and H. Presting, IEEE Photonics Technology Lett. 6, 59 (1994).
13. M. J. M. Vugts, L. J. F. Hermans and H. C. Beijernck, J. Vac. Sci. Tech. A14, 2138 (1996).
14. Handbook of Chemistry and Physics, 57th ed., edited by R. C. Weast (CRC, Cleveland, 1976).
15. J. W. Coburn and H. F. Winters, J. Appl. Phys. 50, 3189 (1979).
16. N. A. Takasaki, E. Ikawa and Y. Kurogi, J. Vac. Sci. Tech. B4, 806 (1986).
17. J. Dieleman, F. H. M. Snaders, A. W. Kolfschoten, P. C. Zalm, A. E. de Vries and A. Haring, J. Vac. Sci. Tech. B3, 1384 (1985).
18. A. W. Kolfschoten, R. A. Haring, A. Haring and A. E. de Vries, J. Appl. Phys. 55, 3813 (1984).