Dry oxidation mechanisms of thin dielectric films formed under N2O using isotopic tracing methods

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 17, 1996, Pages 2366-2368

  Ganem, J J ^a   Rigo, S ^a   Trimaille, I ^a   Baumvol, I J R ^b   Stedile, F C ^b  

^a CNRS   (France)

^b FEDERAL UNIVERSITY OF RIO GRANDE DO SUL   (Brazil)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0013281625     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116135     Document Type: Article

References (16)

1. L. K. Han, G. W. Yoon, J. Kim, J. Yan, and D. L. Kwong, IEEE Electron Device Lett. INS 16, 348 (1995).
2. H. Wang, W. Ting, D. L. Kwong, and J. Lee, Appl. Phys. Lett. AIP 57, 1010 (1990).
3. S. Dimitrijef, D. Sweatman, and H. B. Harrison, Appl. Phys. Lett. AIP 62, 1539 (1993).
4. W. Ting, H. Hwang, J. Lee, and D. L. Kwong, J. Appl. Phys. AIP 70, 1072 (1991).
5. B. E. Deal and A. S. Grove, J. Appl. Phys. AIP 36, 3770 (1965).
6. M. L. Green, D. Brasen, K. W. Evans-Lutterodt, L. C. Feldman, K. Krisch, W. Lennard, H.-T. Tang, L. Manchanda, and M.-T. Tang, Appl. Phys. Lett. AIP 65, 848 (1994).
7. I. J. Baumvol, F. C. Stedile, J. J. Ganem, S. Rigo, and I. Trimaille, J. Electrochem. Soc. 142, 1205 (1995).
8. I. Vickridge and G. Amsel, Nucl. Instrum. Methods B INS 45, 6 (1990).
9. G. Battistig, G. Amsel, E. d'Artemare, and I. Vickridge, Nucl. Instrum. Methods B INS 61, 369 (1991).
10. 2 Interface, edited by C. R. Helms and B. E. Deal (Plenum, New York, 1988), Vol. 1, p. 75.
11. I. Trimaille, S. I. Raider, J. J. Ganem, S. Rigo, and N. A. Penebre
12. E. C. Carr, K. A. Ellis, and R. A. Buhrman, Appl. Phys. Lett. AIP 66, 1492 (1995).
13. F. H. P. M. Habraken and A. E. T. Kuiper, Mater. Sci. Eng. INS 12, 123 (1994).
14. H. T. Tang, W. N. Lennard, M. Zinke-Allmang, I. V. Mitchell, L. C. Feldman M. L. Green, and D. Brasen, Appl. Phys. Lett. AIP 64, 3473 (1994).
15. A. E. Kuiper, H. G. Pomp, P. M. Asveld, W. Arnoldbik, and F. H. M. Habraken, Appl. Phys. Lett. AIP 61, 1031 (1992).
16. E. H. Poindexter and W. L. Warren, J. Electrochem. Soc. 142, 2508 (1995).