Stress reduction and interface quality of buried Sb δ doping layers on Si(001)

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 19, 1996, Pages 2906-2908

  Falta, J ^a   Bahr, D ^a   Hille, A ^a   Materlik, G ^a   Kammler, M ^b   Horn von Hoegen, M ^b  

^a DESY   (Germany)

^b LEIBNIZ UNIVERSITY HANNOVER   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0012561083     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.117319     Document Type: Article

References (21)

1. K. Ploog, J. Cryst. Growth 81, 304 (1987).
2. A. A. van Gorkum, K. Nakagawa, and Y. Shiraki, Jpn. J. Appl. Phys. 26, L1933 (1987).
3. R. L. Wang, Y.-K Su, Y. H. Wang, and K. F. Yarn, IEEE Electron Device Lett. 11, 428 (1990).
4. Jr. M. R. Sardela, H. H. Radamson, and G. V. Hansson, Appl. Phys. Lett. 64, 1711 (1994).
5. K. D. Hobart, D. J. Godbey, P. E. Thompson, and D. S. Simons, Appl. Phys. Lett. 63, 1381 (1993), and references therein.
6. D. Streit, R. A. Metzger, and F. G. Allen, Appl. Phys. Lett. 44, 234 (1984).
7. W.-X. Ni, G. V. Hansson, J.-E. Sundgren, L. Hultman, L. R. Wallenberg, J.-Y. Yao, L. C. Marken, and J. E. Greene, Phys. Rev. B 46, 7551 (1992).
8. W. F. J. Slijkerman, J. M. Gay, P. M. Zagwijn, J. F. van der Veen, J. E. Macdonald, A. A. Williams, D. J. Gravesteijn, and G. F. A. van de Walle, J. Appl. Phys. 68, 5105 (1990).
9. J. Falta, D. Bahr, G. Materlik, B. H. Müller, and M. Horn von Hoegen, Appl. Phys. Lett. 68, 1394 (1996).
10. D. Bahr, J. Falta, G. Materlik, B. H. Müller, and M. Horn von Hoegen, Physica B 221, 96 (1996).
11. R. Frahm, J. Weigelt, G. Meyer, and G. Materlik, Rev. Sci. Instrum. 66, 1677 (1995).
12. D. H. Rich, F. M. Leibsle, A. Samsavar, E. S. Hirschorn, T. Miller, and T.-C. Chiang, Phys. Rev. B 39, 12 758 (1989).
13. J. Tersoff, Phys. Rev. B 45, 8833 (1992).
14. I. K. Robinson, R. T. Tung, and R. Feidenhans'l, Phys. Rev. B 38, 3632 (1988).
15. R. M. Tromp, Phys. Rev. B 47, 7125 (1993).
16. R. M. Tromp, A. W. Denier van der Gon, and M. C. Reuter, Phys. Rev. Lett. 68, 2313 (1992).
17. D. J. Eaglesham, Appl. Phys. Rep. 77, 3597 (1995).
18. M. Copel and R. M. Tromp, Surf. Sci. 337, L773 (1995).
19. M. Horn von Hoegen and A. Golla, Surf. Sci. 337, L777 (1995).
20. M. J. Bedzyk and G. Materlik, Phys. Rev. B 32, 6456 (1985).
21. J. Zegenhagen, G. Materlik, and W. Uelhoff, J. X-Ray Sci. Technol. 2, 214 (1990).