Contribution of atomic and molecular ions to dry-etch damage

Applied Physics Letters

Volumn 75, Issue 2, 1999, Pages 211-213

  Deng, L G ^a   Rahman, M ^a   Van Den Berg, J A ^b   Wilkinson, C D W ^a  

^a UNIVERSITY OF GLASGOW   (United Kingdom)

^b UNIVERSITY OF SALFORD   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0010189521     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.124322     Document Type: Article

References (16)

1. S. K. Murad, M. Rahman, N. Johnson, S. Thoms, S. P. Beaumont, and C. D. W. Wilkinson, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3658 (1996).
2. M. A. Foad, S. Thoms, and C. D. W. Wilkinson, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 20 (1993).
3. H. F. Wong, D. L. Green, T. Y. Liu, D. G. Lishan, M. Bellis, E. L. Hu, P. M. Petroff, P. O. Holtz, and J. L. Merz, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 1906 (1988).
4. R. Germann, A. Forchel, M. Bresch, and H. P. Meier, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 1475 (1989).
5. N. G. Stoffel, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 651 (1992).
6. N. G. Stoffel, S. A. Schwartz, M. A. A. Pudensi, K. Kash, L. T. Florez, J. P. Harbison, and B. J. Wilkens, Appl. Phys. Lett. 60, 1603 (1992).
7. C. H. Chen, D. L. Green, and E. L. Hu, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2355 (1995).
8. D. L. Green, E. L. Hu, and N. G. Stoffel, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3311 (1994).
9. M. Rahman, J. Appl. Phys. 82, 2215 (1997).
10. S. K. Murad, S. P. Beaumont, M. Holland, and C. D. W. Wilkinson, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2344 (1995).
11. S. K. Murad, C. D. W. Wilkinson, and S. P. Beaumont, Microelectron. Eng. 23, 357 (1994).
12. K. G. Orrmann-Rossiter, A. H. Al-Bayati, D. G. Armour, S. E. Donelly, and J. A. van den Berg, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 59/60, 1991 (1991).
13. M. Rahman, Phys. Rev. B 52, 3383 (1995).
14. M. Rahman, L. G. Deng, A. Boyd, A. Ribayrol, C. D. W. Wilkinson, J. A. van den Berg, and D. G. Armour, Electrochem. Soc. Proc. 98-12, 213 (1998); M. Rahman (unpublished).
15. M. Rahman, L. G. Deng, A. Boyd, A. Ribayrol, C. D. W. Wilkinson, J. A. van den Berg, and D. G. Armour, Electrochem. Soc. Proc. 98-12, 213 (1998); M. Rahman (unpublished).
16. L. G. Deng, M. Rahman, S. K. Murad, A. Boyd, and C. D. W. Wilkinson, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3334 (1998).