-
1
-
-
0003666038
-
-
Noyes, Park Ridge, NJ
-
Handbook of Plasma Processing Technology, edited by S. M. Rossnagel, J. J. Cuomo, and W. D. Westwood (Noyes, Park Ridge, NJ, 1990).
-
(1990)
Handbook of Plasma Processing Technology
-
-
Rossnagel, S.M.1
Cuomo, J.J.2
Westwood, W.D.3
-
2
-
-
0001621675
-
-
P. D. Wang, M. A. Foad, C. M. Sotomayor-Torres, M. Watt, R. Cheung, C. D. W. Wilkinson, and S. P. Beaumont, J. Appl. Phys. 71, 3754 (1992).
-
(1992)
J. Appl. Phys.
, vol.71
, pp. 3754
-
-
Wang, P.D.1
Foad, M.A.2
Sotomayor-Torres, C.M.3
Watt, M.4
Cheung, R.5
Wilkinson, C.D.W.6
Beaumont, S.P.7
-
3
-
-
36449005753
-
-
D. Lootens, P. van Daele, P. Demeester, and P. Clauws, J. Appl. Phys. 70, 221 (1991).
-
(1991)
J. Appl. Phys.
, vol.70
, pp. 221
-
-
Lootens, D.1
Van Daele, P.2
Demeester, P.3
Clauws, P.4
-
4
-
-
0025418773
-
-
R. Cheung, A. Birnie, J. N. Chapman, S. Thorns, and C. D. W. Wilkinson, Microelectron. Eng. 11, 591 (1990).
-
(1990)
Microelectron. Eng.
, vol.11
, pp. 591
-
-
Cheung, R.1
Birnie, A.2
Chapman, J.N.3
Thorns, S.4
Wilkinson, C.D.W.5
-
5
-
-
0020832995
-
-
S. W. Pang, G. A. Lincoln, R. W. McClelland, P. D. DeGraff, M. W. Geis, and W. J. Piacentini, J. Vac. Sci. Technol. B 1, 1334 (1983).
-
(1983)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.1
, pp. 1334
-
-
Pang, S.W.1
Lincoln, G.A.2
McClelland, R.W.3
DeGraff, P.D.4
Geis, M.W.5
Piacentini, W.J.6
-
7
-
-
0040773785
-
-
K. L. Seaward and N. J. Moll, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 46 (1992); K. L. Seaward, N. J. Moll, and W. F. Stickle, J. Electron. Mater. 19, 385 (1990).
-
(1992)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.10
, pp. 46
-
-
Seaward, K.L.1
Moll, N.J.2
-
8
-
-
0025418303
-
-
K. L. Seaward and N. J. Moll, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 46 (1992); K. L. Seaward, N. J. Moll, and W. F. Stickle, J. Electron. Mater. 19, 385 (1990).
-
(1990)
J. Electron. Mater.
, vol.19
, pp. 385
-
-
Seaward, K.L.1
Moll, N.J.2
Stickle, W.F.3
-
9
-
-
0001140827
-
-
M. Rahman, N. P. Johnson, M. A. Foad, A. R. Long, M. C. Holland, and C. D. W. Wilkinson, Appl. Phys. Lett. 61, 2335 (1992).
-
(1992)
Appl. Phys. Lett.
, vol.61
, pp. 2335
-
-
Rahman, M.1
Johnson, N.P.2
Foad, M.A.3
Long, A.R.4
Holland, M.C.5
Wilkinson, C.D.W.6
-
11
-
-
0344023167
-
-
T. L. Cheeks, M. L. Roukes, A. Scherer, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 53, 1964 (1988).
-
(1988)
Appl. Phys. Lett.
, vol.53
, pp. 1964
-
-
Cheeks, T.L.1
Roukes, M.L.2
Scherer, A.3
Craighead, H.G.4
-
12
-
-
0026138276
-
-
J. Weber, Physica B 170, 201 (1991).
-
(1991)
Physica B
, vol.170
, pp. 201
-
-
Weber, J.1
-
13
-
-
0027191674
-
-
M. Rahman, M. A. Foad, S. Hicks, M. C. Holland, and C. D. W. Wilkinson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 279, 775 (1993).
-
(1993)
Mater. Res. Soc. Symp. Proc.
, vol.279
, pp. 775
-
-
Rahman, M.1
Foad, M.A.2
Hicks, S.3
Holland, M.C.4
Wilkinson, C.D.W.5
-
14
-
-
0000408555
-
-
R. Germann, A. Forchel, M. Bresch, and H. P. Meier, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 1475 (1989).
-
(1989)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.7
, pp. 1475
-
-
Germann, R.1
Forchel, A.2
Bresch, M.3
Meier, H.P.4
-
17
-
-
0009386720
-
-
N. G. Stoffel, S. A. Schwartz, M. A. A. Pudensi, K. Kash, L. T. Florez, J. P. Harbison, and B. J. Wilkens, Appl. Phys. Lett. 60, 1603 (1992); D. L. Green, E. L. Hu, and N. G. Stoffel, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3311 (1994).
-
(1992)
Appl. Phys. Lett.
, vol.60
, pp. 1603
-
-
Stoffel, N.G.1
Schwartz, S.A.2
Pudensi, M.A.A.3
Kash, K.4
Florez, L.T.5
Harbison, J.P.6
Wilkens, B.J.7
-
18
-
-
0009386720
-
-
N. G. Stoffel, S. A. Schwartz, M. A. A. Pudensi, K. Kash, L. T. Florez, J. P. Harbison, and B. J. Wilkens, Appl. Phys. Lett. 60, 1603 (1992); D. L. Green, E. L. Hu, and N. G. Stoffel, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3311 (1994).
-
(1994)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.12
, pp. 3311
-
-
Green, D.L.1
Hu, E.L.2
Stoffel, N.G.3
-
20
-
-
0042849223
-
-
J. Lindhard, K. Dan. Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 34, 1 (1965); N. Matsunami and L. M. Howe, Radiat. Eff. 51, 111 (1980).
-
(1980)
Radiat. Eff.
, vol.51
, pp. 111
-
-
Matsunami, N.1
Howe, L.M.2
-
23
-
-
0001453314
-
-
O. B. Firsov, Zh. Eksp. Teor. Fiz. 36, 1517 (1959) [Sov. Phys. JETP 36, 1076 (1959)].
-
(1959)
Sov. Phys. JETP
, vol.36
, pp. 1076
-
-
-
25
-
-
3743065497
-
-
J. C. Bourgoin and H. J. von Bardeleben, J. Appl. Phys. 64, R65 (1988); H. Lim, H. J. von Bardeleben, and J. C. Bourgoin, Phys. Rev. Lett. 58, 2315 (1987).
-
(1987)
Phys. Rev. Lett.
, vol.58
, pp. 2315
-
-
Lim, H.1
Von Bardeleben, H.J.2
Bourgoin, J.C.3
-
27
-
-
0000063166
-
-
C. H. Chen, D. G. Yu, E. L. Hu, and P. M. Petroff, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3684 (1996); C. H. Chen, D. L. Green, E. L. Hu, J. P. Ibbetson, and P. M. Petroff, Appl. Phys. Lett. 69, 58 (1996).
-
(1996)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.14
, pp. 3684
-
-
Chen, C.H.1
Yu, D.G.2
Hu, E.L.3
Petroff, P.M.4
-
28
-
-
0001802967
-
-
C. H. Chen, D. G. Yu, E. L. Hu, and P. M. Petroff, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3684 (1996); C. H. Chen, D. L. Green, E. L. Hu, J. P. Ibbetson, and P. M. Petroff, Appl. Phys. Lett. 69, 58 (1996).
-
(1996)
Appl. Phys. Lett.
, vol.69
, pp. 58
-
-
Chen, C.H.1
Green, D.L.2
Hu, E.L.3
Ibbetson, J.P.4
Petroff, P.M.5
|