메뉴 건너뛰기




Volumn 82, Issue 5, 1997, Pages 2215-2224

Channeling and diffusion in dry-etch damage

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords


EID: 0000092506     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.366028     Document Type: Article
Times cited : (49)

References (29)
  • 7
  • 12
  • 18
    • 0009386720 scopus 로고
    • N. G. Stoffel, S. A. Schwartz, M. A. A. Pudensi, K. Kash, L. T. Florez, J. P. Harbison, and B. J. Wilkens, Appl. Phys. Lett. 60, 1603 (1992); D. L. Green, E. L. Hu, and N. G. Stoffel, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3311 (1994).
    • (1994) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.12 , pp. 3311
    • Green, D.L.1    Hu, E.L.2    Stoffel, N.G.3
  • 20
    • 0042849223 scopus 로고
    • J. Lindhard, K. Dan. Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 34, 1 (1965); N. Matsunami and L. M. Howe, Radiat. Eff. 51, 111 (1980).
    • (1980) Radiat. Eff. , vol.51 , pp. 111
    • Matsunami, N.1    Howe, L.M.2
  • 23
    • 0001453314 scopus 로고
    • O. B. Firsov, Zh. Eksp. Teor. Fiz. 36, 1517 (1959) [Sov. Phys. JETP 36, 1076 (1959)].
    • (1959) Sov. Phys. JETP , vol.36 , pp. 1076


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.