Numerical study of argon ions transported across the sheath in electron cyclotron resonance discharges

Journal of Applied Physics

Volumn 85, Issue 3, 1999, Pages 1351-1357

  Zhong, X X ^a   Wu, J D ^a   Sun, J ^a   Wu, C Z ^a   Li, F M ^a  

^a FUDAN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0010035831     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.369266     Document Type: Article

References (20)

1. J. Asmussen, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 883 (1989).
2. Z. Wan, J. Liu, and H. H. Lamb, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2035 (1995).
3. C. R. Eddy, Jr. and B. D. Sartwell, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2018 (1995).
4. D. Landheer, J. E. Hulse, and T. Quance, Thin Solid Films 293, 52 (1997).
5. G. A. Emmert, R. M. Wieland, A. T. Mense, and J. N. Davidson, Phys. Fluids 23, 803 (1980).
6. K.-U. Riemann, IEEE Trans. Plasma Sci. 23, 709 (1995).
7. M. Klick, J. Appl. Phys. 79, 3445 (1996).
8. W. G. J. H. M. van Sark, H. Meiling, E. A. G. Hamers, J. Bezemer, and W. F. van Weg, J. Vac. Sec. Technol. A 15, 654 (1997).
9. M. A. Hussein, G. A. Emmert, N. Hershkowitz, and R. C. Woods, J. Appl. Phys. 72, 1720 (1992).
10. N. H. Choi, W. H. Koh, N. S. Yoon, H. B. Pard, and D. I. Choi, IEEE Trans. Plasma Sci. 23, 617 (1995).
11. M. Ardehali, Appl. Phys. Lett. 64, 169 (1994).
12. M. Tuda, K. Nishikava, and K. Ono, J. Appl. Phys. 81, 960 (1997).
13. H. H. Doh, C. K. Yeon, and K. W. Whang, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 664 (1997).
14. X. X. Zhong, J. D. Wu, C. Z. Wu, and F. M. Li, J. Appl. Phys. 83 (in press).
15. K.-U. Riemann, J. Phys. D 24, 493 (1991).
16. T. Nakano, N. Sadeghi, and R. A. Gottscho, Appl. Phys. Lett. 58, 458 (1991).
17. N. Sadeghi, T. Nakano, D. J. Trevor, and R. A. Gottscho, J. Appl. Phys. 70, 2552 (1991).
18. Y. Okuno, Y. Ohtsu, H. Fujita, W. Chen, and S. Miyake, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 32, L1698 (1993).
19. M. A. Lieberman, J. Appl. Phys. 66, 2926 (1989).
20. R. T. Farouki, S. Hamaguchi, and M. Dalvie, Phys. Rev. A 44, 2664 (1991).