Probe diagnostics of electronegative plasmas with bi-Maxwellian electrons

Journal of Applied Physics

Volumn 89, Issue 4, 2001, Pages 2058-2064

  Stamate, E ^a   Ohe, K ^a  

^a NAGOYA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0005981542     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1337590     Document Type: Article

References (29)

1. M. Bacal, G. W. Hamilton, A. M. Bruneteau, and H. J. Doucet, Rev. Sci. Instrum. 50, 719 (1979).
2. E. Quandt, H. F. Dobele, and W. G. Graham, Appl. Phys. Lett. 72, 2394 (1998).
3. T. Ishikawa, D. Hayashi, K. Sasaki, and K. Kadota, Appl. Phys. Lett. 72, 2391 (1998).
4. T. H. Ahn, K. Nakamura, and H. Sugai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L1405 (1995).
5. H. Shindo, Y. Sawa, and Y. Horiike, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L925 (1995).
6. T. Fujii, H. Aoyagi, K. Kusaba, Y. Horiike, and H. Shindo, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 38, L1466 (1999).
7. M. K. Mishra, R. S. Chabra, and S. R. Sharma, Phys. Rev. E 48, 4642 (1993).
8. A. J. Lichtenberg, V. Vahedi, M. A. Liebermann, and T. Rognlien, J. Appl. Phys. 75, 2339 (1994).
9. R. N. Franklin and J. Snell, J. Phys. D 31, 2532 (1998).
10. H. J. Doucet, Phys. Lett. 33A, 283 (1970).
11. H. Amemiya, J. Phys. Soc. Jpn. 57, 887 (1987).
12. E. Stamate and K. Ohe, J. Appl. Phys. 84, 2450 (1998).
13. I. Ishikawa, S. Iizuka, R. Hatakeyama, and H. Sato, J. Phys. Soc. Jpn. 67, 158 (1998).
14. E. Stamate, G. Popa, and K. Ohe, Rev. Sci. Instrum. 70, 58 (1999).
15. H. Amemiya, J. Phys. D 23, 999 (1990).
16. E. Stamate and K. Ohe, Appl. Phys. Lett. 78, 153 (2001).
17. J. E. Allen, R. L. F. Boyd, and P. Reynolds, Proc. Phys. Soc. London 70, 297 (1957).
18. I. B. Bernstein and I. Rabinowitz, Phys. Fluids 2, 112 (1959).
19. J. G. Laframboise, University of Toronto, Institute of Aerospace Studies, Report No. 100, 1966 (unpublished).
20. H. Amemiya, B. M. Annaratone, and J. E. Allen, Plasma Sources Sci. Technol. 8, 179 (1999).
21. H. Shindo and Y. Horiike, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 32, 5109 (1993).
22. H. Amemiya, J. Phys. Soc. Jpn. 67, 1955 (1998).
23. H. Shindo and Y. Horiike, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 30, 161 (1991).
24. P. M. Bryant, J. E. Allen, and B. M. Annaratone, Proceedings of the ICPIG XXIV, Warsaw, 1999, Vol. 2, p. 11.
25. E. Stamate and K. Ohe, Proceedings of the ICPIG XXIV, Warsaw, 1999, Vol. 2, p. 41.
26. L. E. Kline, D. K. Davies, C. L. Chen, and P. J. Chantry, J. Appl. Phys. 50, 6789 (1979).
27. M. B. Hopkins and W. G. Graham, Rev. Sci. Instrum. 57, 2210 (1986).
28. C. Steinbruchel, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1663 (1990).
29. E. Stamate, K. Inagaki, K. Ohe, and G. Popa, J. Phys. D 32, 671 (1999).