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Volumn 148, Issue 6, 2001, Pages

Oxidation Dependence on Defect Density in 3C-SiC Films

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EID: 0005758472     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.1370972     Document Type: Article
Times cited : (16)

References (20)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.