Silicon etching during the hfcvd diamond growth

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 102, Issue 25, 1998, Pages 4856-4864

  Arnault, J C ^a   Hubert, S ^a   Le Normand, F ^a  

^a INSTITUT DE PHYSIQUE ET CHIMIE DES MATÉRIAUX DE STRASBOURG   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0002514445     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp9809742     Document Type: Article

References (47)

1. Abrefah, J.; Olander, D. R. Surf. Sci. 1989, 209, 291.
2. Pearton, S. J.; Corbett, J. W.; Shi, T. S. Appl. Phys. 1987, A43, 153.
3. Gates, S. M.; Kunz, R. R.; Greenlief, C. M. Surf. Sci. 1989, 207, 364.
4. Olander, D. R.; Balooch, M.; Abrefah, J.; Siekhaus, W. J. J. Vac. Sci. Technol. 1987, B5, 1404.
5. Boland, J. J. Surf. Sci. 1992, 261, 17.
6. Wei, Y.; Lian, L.; Tsong, I. S. T. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 1818.
7. Spear, K. E. J. Am. Ceram. Soc. 1989, 72, 171.
8. Kim, J. W.; Baik, Y. J.; Eun, K. Y. Diamond Relat. Mater. 1992, 1, 200.
9. Polini R. J. Appl. Phys. 1992, 72, 2517.
10. Yugo, S.; Izumi, A.; Kanai, T.; Muto, T.; Kimura, T. In 2nd International Conference on New Diamond Science and Technology, Washington, DC, 1991; p 385.
11. Mahalingam, P.; Liu, H.; Dandy, D. S. J. Appl. Phys. 1997, 81, 1966.
12. Demuynck, L.; Bigorne, F.; Carrière, B.; George, A.; Michel, J. P.; Le Normand, F. Diamond Relat. Mater. 1994, 3, 569.
13. Demuynck, L. Ph.D. Thesis, University of Strasbourg, France, December 1995.
14. Sommer, M.; Smith, F. W. J. Mater. Res. 1990, 5, 2433.
15. Anthony T. R. In Diamond and Diamond-like films; Clausing, R. E., et al., Eds.; Plenum Press: New York, 1991.
16. Langmuir, I. J.; Mackay, G. M. J. J. Am. Chem. Soc. 1914, 36, 1708.
17. Pascal, P. In Nouveau traité de chimie minérale: Masson: Paris, 1956; p 612.
18. Wang, L.; Angus, J. C.; Aue, D. J. Mater. Res. 1995, 10, 3037.
19. Heimann, R. B. In Crystal 8; Springer-Verlag: Berlin, 1982; p 175.
20. Hu, S. M. J. Vac. Sci. Technol. 1977, 14, 17.
21. Wagner, H.; Butz, R.; Backes, U.; Bruchmann, D. Solid State Commun. 1981, 38, 1155.
22. Schulze, G.; Henzler, M. Surf. Sci. 1983, 124, 336.
23. Le Normand, F.; Hubert, S.; Arnault, J. C. Unpublished results.
24. Le Normand, F.; Arnault, J. C.; Parasote, V.; Fayette, L.; Marcus, B.; Mermoux, M. J. Appl. Phys. 1996, 80, 1830.
25. Demuynck, L.; Arnault, J. C.; Speisser, C.; Polini, R.; Le Normand, F. Diamond Relat. Mater. 1997, 6, 235.
26. Arnault, J. C.; Lang, B.; Le Normand, F. J. Vac. Sci. Technol. A 1998, A16, 494.
27. Maillard-Schaller, E.; Kuettel, O. M.; Gröning, P.; Aebi, P.; Schlapbach, L. Diamond Relat. Mater. 1997, 6, 282.
28. Pearton, S. J.; Corbett, J. W.; Shi, T. S. Appl. Phys. A 1987, 43, 153.
29. Estreicher, M. F. Mater. Sci. Eng. 1995, R14, 319.
30. Celii, F. G.; Butler, J. E. J. Appl. Phys. 1992, 71, 2877.
31. Hsu, W. L. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 1427.
32. Harris, S. J.; Weiner, A. M. J. Appl. Phys. 1993, 74, 1022.
33. Goodwin, D. G.; Gavillet, G. G. J. Appl. Phys. 1990, 68, 6393.
34. Frenklach, M.; Wang, H. Phys. Rev. B 1991, 43, 1520.
35. Schelz S., Borges C. F. M., Martinu L.; Moisan M. J. Vac. Sci. Technol. 1997, A15, 2743.
36. Demuynck, L.; Amault, J. C.; Le Normand, F. Unpublished results.
37. Ligenza, J. J. Phys. Chem. 1961, 65, 2011.
38. Barrat, S. Thesis, Institut National Polytechnique de Lorraine, Nancy, France, 1994.
39. Yugo, S.; Kimura, T.; Kanai, H. Science and Technology of New Diamond; Saito, S., Fukunaga, O., Yoshikawa, M., Eds.; Tokyo, 1990; p 119.
40. Froitzheim, H.; Kohler, U.; Lammering, H. Surf. Sci. 1985, 149, 537.
41. Pandey, K. C.; Sakurai, T.; Hagstrum, H. D. Phys. Rev. Lett. 1975, 35, 1728.
42. Demuynck, L.; Arnault, J. C.; Polini, R.; Le Normand, F. Surf. Sci. 1997, 377, 871.
43. Ohshita, Y. J. Cryst. Growth 1991, 110, 516.
44. Motz, H.; Wise, H. J. Chem. Phys. 1960, 31, 1893.
45. Frenklach M.; Skokov S. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 3025.
46. Adda, Y.; Philibert, J. In La diffusion dans les solides; Institut National des Sciences et Techniques Nucléaires: Saclay, 1966.
47. Van Wieringen, A.; Warmholtz, N. Physica 1956, 22, 849.