Diamond growth by injecting thermally decomposed chlorine atoms into methane/hydrogen mixture

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 8, 1997, Pages 3652-3659

  Wu, Jih Jen ^a   Hong, Franklin Chau Nan ^a  

^a NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001753333     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.365485     Document Type: Article

References (25)

1. W. A. Yarbough, J. Am. Ceram. Soc. 75, 3179 (1992).
2. F. C.-N. Hong, G.-T. Liang, D. Chang, and S.-C. Yu, in Applications of Diamond Films and Related Materials, Materials Science Monographs, edited by Y. Tzeng, M. Yoshikawa, M. Murakawa, and A. Foldman (Elsevier, Amsterdam, 1991), Vol. 73, p. 577.
3. F. C.-N. Hong, G.-T. Liang, J.-J. Wu, D. Chang, and J.-C. Hsich, Appl. Phys. Lett. 63, 3149 (1993).
4. B. J. Bai, C. J. Chu, D. E. Patterson, R. H. Hauge, and J. L. Margrave, J. Mater. Res. 8, 233 (1993).
5. N. J. Komplin, B. J. Bai, C. J. Chu, J. L. Margrave, and R. H. Hauge, in Diamond Materials, edited by J. P. Dismukes and K. V. Ravi (The Electrochemical Society Processing Series, Pennington, NJ, 1993), p. 385.
6. C. Pan, C. J. Chu, J. L. Margrave, and R. H. Hauge, J. Electrochem. Soc. 141, 3246 (1994).
7. T. Kotaki, N. Horii, H. Isono, and O. Matsumoto, J. Electrochem. Soc. 143, 2003 (1996).
8. R. S. Tsang, C. A. Rego, P. W. May, J. Thumim, M. N. R. Ashfold, K. N. Rosser, C. M. Younes, and M. J. Holt, Diam. Relat. Mater. 5, 359 (1996).
9. J.-J. Wu, S.-H. Yeh, C.-T. Su, and F. C.-N. Hong, Appl. Phys. Lett. 68, 3254 (1996).
10. J.-J. Wu and F. C.-N. Hong, Appl. Phys. Lett. 70, 185 (1997).
11. J.-J. Wu and F. C.-N. Hong, J. Appl. Phys. 81, 3647 (1997).
12. K. L. Menningen, C. J. Erickson, M. A. Childs, L. W. Anderson, and J. E. Lawler, J. Mater. Res. 10, 1108 (1995).
13. S. J. Harris, Appl. Phys. Lett. 56, 2298 (1990).
14. C. J. Chu, M. P. D'Evelyn, R. H. Hauge, and J. L. Margrave, J. Mater. Res. 5, 2405 (1990).
15. C. E. Johnson, W. A. Weimer, and F. M. Cerio, J. Mater. Res. 7, 1427 (1992;).
16. H. Toyoda, M. A. Childs, K. L. Menningen, L. W. Anderson, and J. E. Lawler, J. Appl. Phys. 75, 3142 (1994).
17. M. Frenklach and K. E. Spear, J. Mater. Res. 3, 133 (1988).
18. L. R. Martin and M. W. Hill, J. Mater. Sci. Lett. 9, 621 (1990).
19. L. R. Martin, J. Mater. Sci. Lett. 12, 246 (1993).
20. S. S. Lee, D. W. Minsek, D. J. Vestyck, and P. Chen, Science 263, 1596 (1994).
21. B. W. Yu and S. L. Girshick, J. Appl. Phys. 75, 3914 (1994).
22. H. B. Vakil, W. F. Banholzer, R. J. Kehl, and C. L. Spiro, Mater. Res. Bull. 24, 733 (1989).
23. J. Carlsson, Thin Solid Films 130, 261 (1985).
24. M. C. McMaster, W. L. Hsu, M. E. Coltrin, and D. S. Dandy, J. Appl. Phys. 76, 7567 (1996).
25. E. J. Corat and D. G. Goodwin, J. Appl. Phys. 74, 2021 (1993).