Hydrogen loss in layers induced by MeV ion beam irradiation

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 61, Issue 15, 2000, Pages 10133-10141

  Ullersma, E ^a   Ullersma, P ^a   Habraken, F H P M ^a  

^a UTRECHT UNIVERSITY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001647307     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.61.10133     Document Type: Article

References (24)

1. W. M. Arnoldbik and F. H. P. M. Habraken, Rep. Prog. Phys. 56, 859 (1993).
2. L. C. Feldman and J. W. Mayer, Fundamentals of Surface and Thin Films Analysis (Elsevier, New York, 1986).
3. M. E. Adel, O. Amir, R. Kalish, and L. C. Feldman, J. Appl. Phys. 66, 3248 (1989).
4. C. H. M. Marée, A. M. Vredenberg, and F. H. P. M. Habraken, Mater. Chem. Phys. 46, 198 (1996).
5. M. P. de Jong, A. J. H. Maas, L. J. van IJzendoorn, S. S. Klein, and M. J. A. de Voigt, J. Appl. Phys. 82, 1058 (1997).
6. Y. J. Chabal and C. K. N. Patel, Rev. Mod. Phys. 59, 835 (1987).
7. W. Beyer, H. Wagner, and F. Finger, J. Non-Cryst. Solids 77&78, 857 (1985).
8. E. H. C. Ullersma, D. K. Inia, F. H. P. M. Habraken, W. G. J. H. M. van Sark, W. F. van der Weg, K. T. Westerduin, and A. van Veen, in Amorphous and Microcrystalline Silicon Technology-1997, edited by E. A. Schiff, M. Hack, S. Wagner, R. E. I. Schropp, I. Shimizu, MRS Symposium Proceedings No. 467 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1997), pp. 141-146.
9. D. L. Staebler and C. R. Wronski, Appl. Phys. Lett. 31, 292 (1977).
10. F. Maass, J. Bertomeu, J. M. Asensi, J. Puigdollers, J. Andreu, J. C. Delgado, and J. Esteve, Appl. Surf. Sci. 70&71, 768 (1993).
11. D. L. Williamson, A. H. Mahan, B. P. Nelson, and R. S. Crandall, Appl. Phys. Lett. 55, 783 (1989).
12. T. Friessnegg, M. Boudreau, P. Mascher, A. Knights, P. J. Simpson, and W. Puff, J. Appl. Phys. 84, 786 (1998).
13. W. Möller, P. Børgesen, and B. M. U. Scherzer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 19/20, 826 (1987).
14. C. A. M. Stap, H. Meiling, G. Landweer, J. Bezemer, and W. F. van der Weg, in Proceedings of the Ninth E. C. Photovoltaic Solar Energy Conference, F.R.G., 1989, edited by W. Palz, G. T. Wrixon, and P. Helm (Kluwer, Dordrecht, 1989), p. 74.
15. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, New York, 1995).
16. C. H. M. Marée, A. Kleinpenning, A. M. Vredenberg, and F. H. P. M. Habraken, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 118, 118 (1996).
17. E. T. Foley, A. F. Kam, and J. W. Lyding, Phys. Rev. Lett. 80, 1336 (1998).
18. R. Biswas, Y.-P. Li, and B. C. Pan, Appl. Phys. Lett. 72, 3500 (1998).
19. J. Chevallier, M. Barbé, E. Constant, D. Loridant-Bernard, and M. Constant, Appl. Phys. Lett. 75, 112 (1999).
20. G. V. d. Walle and W. B. Jackson, Appl. Phys. Lett. 69, 2441 (1996).
21. J. Perrin, M. Shiratani, P. Kae-Nune, H. Videlot, J. Jolly, and J. Guillon, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 278 (1998).
22. Y. Muramatsu and N. Yabumoto, Appl. Phys. Lett. 49, 1230 (1986).
23. P. Kae-Nune, J. Perrin, J. Guillon, and J. Jolly, Plasma Sources Sci. Technol. 4, 250 (1995).
24. E. H. C. Ullersma, P. Ullersma, and F. H. P. M. Habraken (unpublished).