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Volumn 5, Issue 4, 1999, Pages 191-193

Precursor selection in halide CVD of oxides

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EID: 0001066075     PISSN: 09481907     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/(SICI)1521-3862(199908)5:4<191::AID-CVDE191>3.0.CO;2-U     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.