Patterning magnetic films by ion beam irradiation

Journal of Applied Physics

Volumn 87, Issue 9 III, 2000, Pages 7004-7006

  Terris, B D ^a   Weller, D ^a   Folks, L ^a   Baglin, J E E ^a   Kellock, A J ^a   Rothuizen, H ^b   Vettiger, P ^b  

^a IBM ALMADEN RESEARCH CENTER   (United States)

^b IBM RESEARCH ZURICH   (Switzerland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000959458     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.372912     Document Type: Article

References (15)

1. P. R. Krauss and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2850 (1995); R. M. H. New, R. F. W. Pease, and R. L. White, ibid. 13, 1089 (1995); R. O'Barr, S. Y. Yamamoto, and S. Schultz, J. Appl. Phys. 81, 4730 (1997).
2. P. R. Krauss and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2850 (1995); R. M. H. New, R. F. W. Pease, and R. L. White, ibid. 13, 1089 (1995); R. O'Barr, S. Y. Yamamoto, and S. Schultz, J. Appl. Phys. 81, 4730 (1997).
3. P. R. Krauss and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2850 (1995); R. M. H. New, R. F. W. Pease, and R. L. White, ibid. 13, 1089 (1995); R. O'Barr, S. Y. Yamamoto, and S. Schultz, J. Appl. Phys. 81, 4730 (1997).
4. S. Y. Chou, Proc. IEEE 85, 652 (1997); L. Kong, L. Zhuang, and S. Y. Chou, IEEE Trans. Magn. 33, 3019 (1997).
5. S. Y. Chou, Proc. IEEE 85, 652 (1997); L. Kong, L. Zhuang, and S. Y. Chou, IEEE Trans. Magn. 33, 3019 (1997).
6. A. Fernandez, P. J. Bedrossian, S. L. Baker, S. P. Vernon, and D. R. Kania, IEEE Trans. Magn. 32, 4472 (1996); M. Farhoud, M. Hwang, H. I. Smith, M. L. Schattenburg, J. M. Bae, K. Youcef-Toumi, and C. A. Ross, ibid. 34, 1087 (1998).
7. A. Fernandez, P. J. Bedrossian, S. L. Baker, S. P. Vernon, and D. R. Kania, IEEE Trans. Magn. 32, 4472 (1996); M. Farhoud, M. Hwang, H. I. Smith, M. L. Schattenburg, J. M. Bae, K. Youcef-Toumi, and C. A. Ross, ibid. 34, 1087 (1998).
8. B. D. Terris, L. Folks, D. Weller, J. E. E. Baglin, A. Kellock, H. Rothuizen, and P. Vettiger, Appl. Phys. Lett. 75, 4031 (1999).
9. Ion ranges were calculated using TRIM, J. P. Biersack and L. Haggmark, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 174, 257 (1980). (TRIM program for PCs available from J. F. Ziegler, jfz@us.ibm.com.)
10. C. Chappert, et al., Science 280, 1919 (1998).
11. D. Weller et al., J. Appl. Phys. 87 (2000).
12. T. Devolder, C. Chappert, Y. Chen, E. Cambril, H. Bernas, J. P. Jamet, and J. Ferre, Appl. Phys. Lett. 74, 3383 (1999).
13. B. M. Lairson, M. R. Visokay, R. Sinclair, and B. M. Clemens, Appl. Phys. Lett. 62, 639 (1993); A. Cebollada, D. Weller, J. Sticht, G. R. Harp, R. F. C. Farrow, R. F. Marks, R. Savoy, and J. C. Scott, Phys. Rev. B 50, 3419 (1994).
14. B. M. Lairson, M. R. Visokay, R. Sinclair, and B. M. Clemens, Appl. Phys. Lett. 62, 639 (1993); A. Cebollada, D. Weller, J. Sticht, G. R. Harp, R. F. C. Farrow, R. F. Marks, R. Savoy, and J. C. Scott, Phys. Rev. B 50, 3419 (1994).
15. D. Weller et al., IEEE Trans. Magn. (to be published).