Growth of epitaxial AlxGa1-xN films by pulsed laser deposition

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 10, 1998, Pages 1158-1160

  Huang, Tzu Fang ^a   Harris Jr , James S ^a  

^a STANFORD UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000713902     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121033     Document Type: Article

References (14)

1. S. Nakamura, 24th International Symposium on Compound Semiconductor, San Diego, Sept. 97.
2. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Appl. Phys. Lett. 64, 1687 (1994).
3. X. H. Wu, D. Kapolnek, E. J. Tarsa, B. Heying, S. Keller, B. P. Keller, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 68, 1371 (1996).
4. D. B. Oberman, H. Lee, W. K. Gotz, and J. S. Harris, Jr., J. Cryst. Growth 150, 912 (1995).
5. T. Detchprohm, H. Amano, K. Hiramatsu, and I. Akasaki, J. Cryst. Growth 128, 384 (1993).
6. Pulsed Laser Deposition of Thin Films, edited by D. Chrisey and G. Hubler (Wiley-Interscience, New York, 1994).
7. T. F. Huang, E. Tuncel, J. S. Yeo, and J. S. Harris, Jr., Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 421, 389 (1996).
8. R. F. Xiao, X. W. Sun, H. B. Liao, N. Cue, and H. S. Kwok, J. Appl. Phys. 80, 4226 (1996).
9. R. D. Vispute, V. Talyansky, R. P. Sharma, S. Choopun, M. Downes, T. Venkatesan, K. A. Jones, A. A. Iliadis, M. Asif Khan, and J. W. Yang, Appl. Phys. Lett. 71, 102 (1997).
10. S. Schwyn Thöny, K. E. Youden, J. S. Harris, Jr., and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 65, 2018 (1994).
11. J. T. Cheung and D. T. Cheung, J. Vac. Sci. Technol. 21, 182 (1982).
12. R. F. Davis, T. W. Weeks, Jr., M. D. Bremser, K. S. Ailey, and W. G. Perry, Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of Electronic Ceramics II Symposium, pp. 3-14 (1995).
13. Y. Koide, H. Ithoh, M. R. H. Khan, K. Hiramatu, N. Sawaki, and I. Akasaki, J. Appl. Phys. 61, 4540 (1987).
14. H. Angerer, D. Brunner, F. Freudenberg, O. Ambacher, M. Stutzmann, R. Hopler, T. Metzger, E. Born, G. Dollinger, A. Bergmaier, S. Karsch, and H. J. Korner, Appl. Phys. Lett. 71, 1504 (1997).