Organometallic chemical vapour deposition of cobalt/indium thin films using the single-molecule precursors [(CO)4Co]aInR3-a (R = CH2CH2CH2NMe2; a = 1-3)

Polyhedron

Volumn 17, Issue 7, 1998, Pages 1203-1210

  Fischer, Roland A ^a   Weiß, Jurij ^a   Rogge, Wolfram ^a  

^a RUHR UNIVERSITY BOCHUM   (Germany)

Author keywords

Cobalt; Indium; OMCVD; Thin alloy films

Indexed keywords

EID: 0000277253     PISSN: 02775387     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0277-5387(98)00507-5     Document Type: Article

References (27)

1. Fix, R. M., Gordon, G. and Huffmann, D. M., J. Am. Chem. Soc., 1990, 112, 7833.
2. Cleaver, W. M., Späth, M., Hnyk, D., McMurdo, G., Power, M. B., Stuke, M., Rankin, D. W. H. and Barron, A. R., Organometallics, 1995, 14, 690.
3. Fischer, R. A. and Priermeier, T., Organometallics, 1994, 13, 4306.
4. Fischer, R. A. and Miehr, A., Chem. Mater., 1996, 8, 497.
5. Miehr, A., Fischer, R. A., Schulte, M. M. and Herdtweck, E., J. Chem. Soc. Chem. Commun., 1995, 337.
6. Ellner, M. and Bhan, S., J. Less-Common Met., 1981, 79, P1.
7. Khalopova, A. N., Khim. Redkikh Elementov, 1954, 1, 115.
8. Köster, W. and Horn, E., Z. Metallkd., 1952, 43, 333.
9. Dasarathy, C., Z. Metallkd., 1968, 58, 829.
10. Schöbel, J.-D. and Stadelmeier, H. H., Z. Metallkd., 1970, 61, 342.
11. Fischer, R. A., Behm, J., Priermeier, T. and Scherer, W., Angew. Chem., 1993, 105, 776.
12. Weiß, J., Frank, A., Herdtweck, E., Nlate, S. and Fischer, R. A., Chem. Ber.. 1995, 129, 297.
13. Hieber, W. and Teller, U., Z. Anorg. Allg. Chem., 1942, 249, 43.
14. Fischer, R. A. and Kleine, M., Chem. Mater., 1995, 7, 1863.
15. Schumann, H., Seuss, T. D. and Hemling, H., Eur. J. Solid State Inorg. Chem., 1992, 29, 81.
16. Fischer, R. A., Miehr, A., Metzger, T., Born, E., Ambacher, O., Angerer, H. and Dimitrov, R., Chem. Mater., 1996, 8, 1356.
17. Singmaster, K. A., Houle, F. A. and Wilson, R. J., J. Phys. Chem., 1990, 94, 6864.
18. Hampden-Smith, M. J. and Kodas, T. T., The Chemistry of Metal CVD. Verlag Chemie, Weinheim, 1996.
19. Herrmann, W. A., Fischer, R. A., Klingan, F. R. and Miehr, A., Appl. Phys. Lett., 1995, 67, 822.
20. Hampden-Smith, M. J. and Kodas, T. T., The Chemistry of Metals CVD. Verlag Chemie, Weinheim, 1994.
21. Frey, H. and Kinel, G., Dünnschichttechnologie. VDI-Verlag, Düsseldorf, 1987 ; p. 176.
22. Scherrer, P., Göttinger Nachr., 1918, 2, 98.
23. Williams, R. S., Appl. Surf. Sci, 1992, 60/61, 613.
24. Kaesz, H. D., Williams, R. S., Hicks, R. F., Zink, J. I., Chen, Y.-J., Müller, H.-J., Xue, Z., Xu, D., Shuh, D. K. and Kim, Y. Y., New J. Chem., 1990, 14, 527.
25. Stadelmaier, H. H. and Manaktala, H. K., Acta Crvst., 1975, B31, 374.
26. Natl. Bur. Stand. (U.S.) Monogr. 25, 1996, 4, 10.
27. Hofer, L. J. E. and Peebles, W. C., J. Am. Chem. Soc., 1947, 69, 893.