Comparative study of the metal organic chemical vapor deposition of β-coga thin films from dialkylgallium tetracarbonylcobaltate single-source precursors

Chemistry of Materials

Volumn 8, Issue 2, 1996, Pages 497-508

  Fischer, Roland A ^a   Miehr, Alexander ^a  

^a TECHNICAL UNIVERSITY OF MUNICH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEPOSITION TEMPERATURES; LOW SUBSTRATE TEMPERATURE; METAL CONCENTRATIONS; ORGANOMETALLIC COMPOUNDS; SINGLE-MOLECULE PRECURSORS; SINGLE-SOURCE PRECURSOR; SUBSTRATE TEMPERATURE; UNSATURATED HYDROCARBONS;

AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY; BYPRODUCTS; CARBON DIOXIDE; COBALT; COBALT COMPOUNDS; DEPOSITION; ETHYLENE; GALLIUM ARSENIDE; METALLORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; ORGANOMETALLICS; QUARTZ; SEMICONDUCTING GALLIUM; SILICON; SOLID STATE REACTIONS; SUBSTRATES; THIN FILMS; X RAY DIFFRACTION;

GALLIUM ALLOYS;

EID: 0000408537     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm9504044     Document Type: Article

References (64)

1. Williams, R. S. Appl. Surf. Sci. 1992, 60/61, 613.
2. Kuo, T. C.; Wang, K. L.; Arghavani, R.; George, T.; Lin, T. L. J. Vac. Sci. Technol. 1992, B10, 1923.
3. Maury, F.; Talin, A. A.; Kaesz, H. D.; Williams, R. S. Chem. Mater. 1993, 5, 84.
4. Patmore, D. J.; Graham, W. A. G. Inorg. Chem. 1966, 5, 1586.
5. Kaesz, H. D.; Williams, R. S.; Hicks, R. F.; Zink, J. I.; Chen, Y.-J.; Müller, H.-J.; Xue, Z.; Xu, D.; Shuh, D. K.; Kim, Y. Y. New J. Chem. 1990, 14, 527.
6. Chen, Y.; Kaesz, H. D.; Kim, Y. K.; Müller, H. J.; Williams, R. S.; Xue, Z. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 2760.
7. Maury, F.; Brandt, L.; Kaesz, H. D. J. Organomet. Chem. 1993, 449, 159.
8. Zinn, A.;. N., B.; Kaesz, H. D. Adv. Mater. 1992, 4, 375.
9. Fischer, R. A.; Miehr, A.; Priermeier, T. Chem. Ber., in press.
10. Fischer, R. A.; Behm, J. Chem. Ber. 1992, 125, 37.
11. Fischer, R. A.; Behm, J. J. Organomet. Chem. 1992, 429, 275.
12. Fischer, R. A.; Kleine, M.; Lehmann, O.; Stuke, M. Chem. Mater. 1995, 7, 1863.
13. Davis, L. E.; McDonald, N. C.; Palmberg, P. W.; Riach, G. E.; Weber, R. E. Handbook of Auger Elektron Spectroscopy, 2nd ed.; Physical Electronics Inc.: Eden Prairie, MN, 1976.
14. Sekine, T.; Nagasawa, M. K.; Sakai, Y.; Parkes, A. S.; Geller, J. D.; Mogami, A.; Hirata, K. Handbook of AUGER Electron Spectroscopy; JEOL: Tokyo, 1982.
15. McGuire, G. E. Auger Electron Spectroscopy Reference Manual; Plenum Press: New York, 1979.
16. Schumann, H.; Hartmann, U.; Wassermann, W.; Just, O.; Dietrich, A.; Pohl, L.; Hostalek, M.; Lokai, M. Chem. Ber. 1991, 124, 1113.
17. Schumann, H.; Seuss, T. D.; Just, O.; Weimann, R.; Hemling, H.; Gorlitz, F. H. J. Organomet. Chem. 1994, 479, 171.
18. Fischer, R. A.; Behm, J. J. Organomet. Chem. 1991, 413, C10.
19. Fischer, R. A.; Kaesz, H. D.; Khan, S. I.; Müller, H.-J. Inorg. Chem. 1990, 29, 1601.
20. Greenwood, N. N.; Storr, A.; Wallbridge, M. G. H. Inorg. Chem. 1963, 2, 1036.
21. Atwood, J. L.; Bott, S. G.; Elms, F. M.; Jones, C.; Raston, C. L. Inorg. Chem. 1991, 30, 3792.
22. Elms, F. M.; Gardiner, M. G.; Koutsantonis, G. A.; Raston, C. L.; Atwood, J. L.; Robinson, K. D. J. Organomet. Chem. 1993, 45.
23. Ohring, M. The Materials Science of Thin Films; Academic Press: New York, 1992; Chapter 2, p 49.
24. Donelly, V. M.; McCaulley, J. A. Surf. Sci. 1990, 235, L333.
25. Yu, M. L.; Memmert, U.; Keuch, T. F. Phys. Lett. 1989, 55, 1011.
26. Memmert, U.; Yu, M. L. Appl. Phys. Lett. 1990, 56, 1883.
27. Creighton, R.; Lykke, K. R.; Shamamian, V. S.; Kay, B. D. Appl. Phys. Lett 1990, 57, 279.
28. McCaulley, J. A.; McCrary, V. R.; Donnelly, V. M. J. Phys. Chem. 1989, 93, 1014.
29. Bent, B. E.; Nuzzo, R. G.; Dubois, L. H. J. Am. Chem. Soc. 1989, 111, 1627.
30. Kodas, T.; Hampden-Smith, M. in Kodas, T., Hampden-Smith, M., Eds; Verlag Chemie: Weinheim, 1994; p 264.
31. Stringfellow, G. B. Organometallic Vapor Phase Epitaxy; Academic Press: San Diego, 1989.
32. Almond, M. J.; Jenkins, C. E.; Rice, D. A. J. Organomet. Chem. 1993, 443, 137.
33. Frese, V.; Regel, G. K.; Hardtdegen, H.; Bauers, A.; Balk, P.; Hostalek, M.; Lokai, M.; Pohl, L.; Mikilis, A. J. Electron Mater. 1990, 19, 305.
34. Hostalek, M.; Pohl, L.; Brauers, A.; Balk, P.; Frese, V.; Hardtdegen, H.; Hövel, R.; Regl, G. K. Thin Solid Films 1989, 174, 1.
35. Lee, P. W.; Omstead, T. R.; McKenna, D. R.; Jensen, K. F. J. Cryst. Growth 1988, 93, 134.
36. Yoshida, M.; Watanabe, H.; Uesugi, F. J. Electrochem. Soc 1985, 132, 677.
37. Glass, J. A. J.; Kehr, S. S.; Spencer, J. T. Chem. Mater. 1992, 4, 530.
38. Fischer, R. A.; Priermeier, T. Organometallics 1994, 13, 4306.
39. Fischer, R. A.; T., P.; Scherer, W. J. Organomet. Chem. 1993, 459, 65.
40. Kronseder, C.; Schindler, T.; Berg, C.; Fischer, R. A.; Niednerschatteburg, G.; Bondybey, V. J. Organomet. Chem 1994, 475, 247.
41. Kronseder, C. Diploma Thesis, Technische Universität München, 1993.
42. Schulte, M. M.; Fischer, R. A.; Herdtweck, E. Angew. Chem., Int. Ed. Engl., in press.
43. Fischer, R. A.; Schulte, M. M.; Priermeier, T. J. Organomet. Chem. 1994, 493, 139.
44. Fischer, R. A.; Miehr, A.; Schulte, M. Adv. Mater. 1995, 7, 58.
45. Singmaster, K. A.; Houle, F. A.; Wilson, R. J. J. Phys. Chem 1990, 94, 6864.
46. Kuech, T. F.; Veuhoff, E.; Kuan, T. S.; Deline, V.; Potemski, R. J. Cryst. Growth 1986, 77, 257.
47. Kuech, T. F.; Veuhoff, E. J. Cryst. Growth 1984, 68, 148.
48. Plass, C.; Heinecke, H.; Kayser, O.; Luth, H.; Balk, P. J. Cryst. Growth 1988, 88, 455.
49. Miller, J. E.; Eckerdt, J. G. Chem. Mater. 1994, 6, 343.
50. Kamp, M.; König, F.; Mörsch, G.; Lüth, H. J. Cryst. Growth 1992, 120, 124.
51. Murarka, S. P. Metallization; Butterworth-Heinemann: Stoneham, 1993; p 111.
52. Fischer, R. A.; Herdtweck, E.; Priermeier, T. Inorg. Chem. 1994, 33, 934.
53. Herrmann, W. A.; Fischer, R. A.; Klingan, F. R.; Miehr, A. Appl. Phys. Lett., 1995, 67, 822.
54. Yamaguchi, Y.; Kiewitt, D. A.; Aoki, T.; Brittain, J. O. J. Appl. Phys. 1968, 39, 231.
55. Bither, T. A.; Cloud, W. H. Appl. Phys. 1965., 36, 1501.
56. Schubert, K.; Meissner, H.-G.; Raman, A.; Rossteuscher, W. Naturwissenschaften 1964, 51, 287.
57. Meissner, H.-G.; Schubert, K. Z. Metallkde. 1965, 56, 523.
58. Köster, W.; Horn, E. Z. Metallkde. 1952, 43, 333.
59. Wunsch, K. M.; Wachtel, E. Z. Metallkde. 1982, 73, 311.
60. Feschotte, P.; Eggimann, P. J. Less-Common Met. 1974, 63, 15.
61. Shiau, F.-Y.; Zuo, Y.; Lin, J.-C.; Zheng, X.-Y.; Chang, Y. A. Z. Metallkde. 1989, 80, 544.
62. Zhu, J. G.; Carter, C. B.; Palmstrøm, C. J.; Garrison, K. C. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 39.
63. Shiau, F. Y.; Chang, Y. A.; Chen, L. J. J. Electron. Mater. 1988, 17, 433.
64. Kuo, T. C.; Kang, T. W.; Wang, K. L. J. Cryst. Growth 1991, 111, 996.