Electron beam lithography for 0.13 μm manufacturing

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 15, Issue 6, 1997, Pages 2125-2129

  McCord, Mark A ^a  

^a STANFORD UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000232063     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.589232     Document Type: Article

References (18)

1. Y. Shoda, Y. Someda, and N. Saitou, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2419 (1995).
2. Z. C. H. Tan, T. Stivers, H. Lem, N. DiGiacomo, and D. Wood, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2539 (1995).
3. S. D. Berger, J. M. Gibson, R. M. Camarda, R. C. Farrow, H. A. Huggins, J. S. Kraus, and J. A. Liddle, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 2996 (1991).
4. H. Yasuda, S. Arai, J. Kai, Y. Ooae, T. Abe, S. Maruyama, and T. Kiuchi, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3813 (1996).
5. J. E. Schneider, A. W. Baum, G. I. Winograd, R. F. W. Pease, M. McCord, W. E. Spicer, K. A. Costello, and V. W. Aebi, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3782 (1996).
6. T. H. P. Chang, M. G. R. Thomson, E. Kratschmer, H. S. Kim, M. L. Yu, K. Y. Lee, S. A. Rishton, and B. W. Hussey, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3774 (1996).
7. M. A. McCord and T. H. Newman, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 3083 (1992).
8. Y. W. Yau, R. F. W. Pease, A. A. Iranmanesh, and K. J. Polasko, J. Vac. Sci. Technol. 19, 1048 (1981).
9. M. A. McCord, R. Viswanathan, F. J. Hohn, A. D. Wilson, R. Naumann, and T. H. Newman, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2764 (1992).
10. M. A. McCord, A. Wagner, and T. Donohue, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2958 (1993).
11. T. Tanaka, M. Morigami, and N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 32, 6059 (1993).
12. S. C. Nash, T. B. Faure, J. P. Levin, D. M. Puisto, J. M. Rocque, K. R. Kimmel, M. A. McCord, and R. G. Viswanathan, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 6878 (1994).
13. G. Owen and P. Rissman, J. Appl. Phys. 54, 3573 (1983).
14. E. Kratschmer and T. R. Groves, J. Vac. Sci. Technol. B 8, 1898 (1990).
15. G. P. Watson, S. D. Berger, J. A. Liddle, and W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2504 (1995).
16. M. A. Gesley and M. A. McCord, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3478 (1994).
17. L. R. Harriott, S. D. Berger, J. A. Liddle, G. P. Watson, and M. M. Mkrtchyan, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2404 (1995).
18. A. W. Baum, J. E. Schneider, R. F. W. Pease, M. McCord, W. E. Spicer, K. A. Costello, and V. W. Aebi, J. Vac. Sci. Technol. B, these proceedings.