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Journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan

Volumn 117, Issue 5, 1997, Pages 289-292

New and Promising Materials from Nitride Compounds. 6. Deposition Methods of c-BN Thin Films

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EID: 85024712968 PISSN: 13405551 EISSN: 18814190 Source Type: Journal
DOI: 10.1541/ieejjournal.117.289 Document Type: Article

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.