Controlling the structural and optical properties of Ta3N 5 films through nitridation temperature and the nature of the Ta metal

Chemistry of Materials

Volumn 26, Issue 4, 2014, Pages 1576-1582

  Pinaud, Blaise A ^a   Vailionis, Arturas ^b,c   Jaramillo, Thomas F ^a  

^a Stanford University   (United States)

^b STANFORD UNIVERSITY   (United States)

^c SLAC NATIONAL ACCELERATOR LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84894647446     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm403482s     Document Type: Article

References (34)

1. Moriya, Y.; Takata, T.; Domen, K. Coord. Chem. Rev. 2013, 257, 1957
2. Chun, W. J.; Ishikawa, A.; Fujisawa, H.; Takata, T.; Kondo, J. N.; Hara, M.; Kawai, M.; Matsumoto, Y.; Domen, K. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 1798
3. Dang, H. X.; Hahn, N. T.; Park, H. S.; Bard, A. J.; Mullins, C. B. J. Phys. Chem. C 2012, 116, 19225
4. Li, Y.; Takata, T.; Cha, D.; Takanabe, K.; Minegishi, T.; Kubota, J.; Domen, K. Adv. Mater. 2013, 25, 125
5. Zhen, C.; Wang, L.; Liu, G.; Lu, G. Q.; Cheng, H.-M. Chem. Commun. 2013, 49, 3019
6. Cong, Y.; Park, H. S.; Wang, S.; Dang, H. X.; Fan, F.-R. F.; Mullins, C. B.; Bard, A. J. J. Phys. Chem. C 2012, 116, 14541
7. Ishikawa, A.; Takata, T.; Kondo, J. N.; Hara, M.; Domen, K. J. Phys. Chem. B 2004, 108, 11049
8. Pinaud, B. A.; Vesborg, P. C. K.; Jaramillo, T. F. J. Phys. Chem. C 2012, 116, 15918
9. Swisher, J. H.; Read, M. H. Metall. Trans. 1972, 3, 489
10. Higashi, M.; Domen, K.; Abe, R. Energy Environ. Sci. 2011, 4, 4138
11. Feng, X. J.; LaTempa, T. J.; Basham, J. I.; Mor, G. K.; Varghese, O. K.; Grimes, C. A. Nano Lett. 2010, 10, 948
12. Yokoyama, D.; Hashiguchi, H.; Maeda, K.; Minegishi, T.; Takata, T.; Abe, R.; Kubota, J.; Domen, K. Thin Solid Films 2011, 519, 2087
13. Maeda, K.; Nishimura, N.; Domen, K. Appl. Catal., A 2009, 370, 88
14. Ritala, M.; Kalsi, P.; Riihela, D.; Kukli, K.; Leskela, M.; Jokinen, J. Chem. Mater. 1999, 11, 1712
15. Fang, Z. W.; Aspinall, H. C.; Odedra, R.; Potter, R. J. J. Cryst. Growth 2011, 331, 33
16. Fix, R.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1993, 5, 614
17. Chiu, H. T.; Chang, W. P. J. Mater. Sci. Lett. 1992, 11, 96
18. Kaloyeros, A. E.; Chen, X. M.; Stark, T.; Kumar, K.; Seo, S.; Peterson, G. G.; Frisch, H. L.; Arkles, B.; Sullivan, J. J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 170
19. Chemical vapour deposition: precursors, processes and applications; RSC Publishing: Cambridge, UK, 2009.
20. Patterson, A. L. Phys. Rev. 1939, 56, 978
21. Stampfl, C.; Freeman, A. J. Phys. Rev. B 2005, 71, 024111
22. Terao, N. Jpn. J. Appl. Phys. 1971, 10, 248
23. Lee, Y.; Nukumizu, K.; Watanabe, T.; Takata, T.; Hara, M.; Yoshimura, M.; Domen, K. Chem. Lett. 2006, 35, 352
24. Chandrasekharan, R.; Park, I.; Masel, R. I.; Shannon, M. A. J. Appl. Phys. 2005, 98, 114908
25. Lecuyer, S.; Quemerais, A.; Jezequel, G. Surf. Interface Anal. 1992, 18, 257
26. Takata, T.; Hitoki, G.; Kondo, J. N.; Hara, M.; Kobayashi, H.; Domen, K. Res. Chem. Intermed. 2007, 33, 13
27. Dabirian, A.; van de Krol, R. Appl. Phys. Lett. 2013, 102, 033905
28. Yuliati, L.; Yang, J.-H.; Wang, X.; Maeda, K.; Takata, T.; Antonietti, M.; Domen, K. J. Mater. Chem. 2010, 20, 4295
29. Ho, S. F.; Contarini, S.; Rabalais, J. W. J. Phys. Chem. 1987, 91, 4779
30. Higashi, M.; Domen, K.; Abe, R. J. Am. Chem. Soc. 2013, 135, 10238
31. Fang, C. M.; Orhan, E.; de Wijs, G. A.; Hintzen, H. T.; de Groot, R. A.; Marchand, R.; Saillard, J. Y.; de With, G. J. Mater. Chem. 2001, 11, 1248
32. Jones, R. O.; Gunnarsson, O. Rev. Mod. Phys. 1989, 61, 689
33. Castelli, I. E.; Olsen, T.; Datta, S.; Landis, D. D.; Dahl, S.; Thygesen, K. S.; Jacobsen, K. W. Energy Environ. Sci. 2012, 5, 5814
34. Ping, Y.; Rocca, D.; Galli, G. Phys. Rev. B 2013, 87, 165203