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Volumn 47, Issue 12, 2013, Pages 1610-1615

Deposition and characterization of molybdenum thin films using DC-plasma magnetron sputtering

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EID: 84890033533     PISSN: 10637826     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1134/S1063782613140017     Document Type: Article
Times cited : (21)

References (10)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.