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Volumn 16, Issue 8, 2009, Pages 441-448

Mechanical characterization and micro structure diagnostics of glass frit bonded interfaces

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GLASS; LEAD METALLOGRAPHY; REACTION INTERMEDIATES; REDOX REACTIONS; SILICON WAFERS; TENSILE TESTING;

EID: 63149175341     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.2982898     Document Type: Conference Paper
Times cited : (14)

References (9)
  • 1
    • 63149093947 scopus 로고    scopus 로고
    • Halbleiterwaferbondverbindungen mittels strukturierter Glaszwischenschichten zur Verkapselung oberflä chenmikromechanischer Sensoren auf Waferebene
    • PhD thesis, Dr. Hut Verlag, München
    • R. Knechtel,"Halbleiterwaferbondverbindungen mittels strukturierter Glaszwischenschichten zur Verkapselung oberflä chenmikromechanischer Sensoren auf Waferebene", PhD thesis, Dr. Hut Verlag, München (2005).
    • (2005)
    • Knechtel, R.1
  • 2
    • 63149132409 scopus 로고    scopus 로고
    • Dichtheit und Lebensdauer Glas-Frit gebondeter mikromechanischer Inertialsensoren
    • PhD thesis, Karlruhe
    • K. Glien,"Dichtheit und Lebensdauer Glas-Frit gebondeter mikromechanischer Inertialsensoren", PhD thesis, Karlruhe (2007).
    • (2007)
    • Glien, K.1
  • 3
    • 63149155364 scopus 로고    scopus 로고
    • K. Nötzold et al. Stabilitätsbewertung glaslotgebondeter Inertialsensoren für Automobilanwendungen: Bruchparameter bei gemischter Beanspruchung, MST Kongress 2007 Proceedings, VDE Verlag GmbH, Berlin-Offenbach (2007).
    • K. Nötzold et al. "Stabilitätsbewertung glaslotgebondeter Inertialsensoren für Automobilanwendungen: Bruchparameter bei gemischter Beanspruchung", MST Kongress 2007 Proceedings, VDE Verlag GmbH, Berlin-Offenbach (2007).
  • 6
    • 63149137327 scopus 로고    scopus 로고
    • J. Bagdahn,Festigkeit und Lebensdauer direkt gebondeter Siliziumwafer unter mechanischer Belastung, PhD thesis, Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 9, Elektronik/Mikro-und Nanotechnik; Nr. 334, VDI Verlag, Düsseldorf (2001).
    • J. Bagdahn,"Festigkeit und Lebensdauer direkt gebondeter Siliziumwafer unter mechanischer Belastung", PhD thesis, Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 9, Elektronik/Mikro-und Nanotechnik; Nr. 334, VDI Verlag, Düsseldorf (2001).
  • 7
    • 63149163968 scopus 로고    scopus 로고
    • Ferro Electronic Materials Division, Santa Barbara CA 93117
    • Ferro Electronic Materials Division. Material Safety Data Sheet for FX 11-036. Santa Barbara CA 93117.
    • Material Safety Data Sheet for FX 11-036
  • 9
    • 63149178874 scopus 로고    scopus 로고
    • http://www.semi.org/


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.