Influence of gas on cutting silicon with solid state laser

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 5339, Issue , 2004, Pages 488-493

  Klotzbach, Udo ^a   Mälzer, Stephanie ^a   Kuntze, Thomas ^a   Panzner, M ^a   Dotschel M ^a   Sonntag, F ^a   Beyer, Eckhard ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR MATERIAL AND BEAM TECHNOLOGY IWS   (Germany)

Author keywords

Diode pumped solid state lasers; Gas atmosphere; Laser cutting; Silicon wafer dicing

Indexed keywords

ARGON; LASER BEAM CUTTING; OPTICAL INSTRUMENT LENSES; OXIDATION; PARAMETER ESTIMATION; REFRACTIVE INDEX; SEMICONDUCTOR LASERS; SILICA; SILICON WAFERS; VACUUM APPLICATIONS;

DIODE-PUMPED SOLID-STATE LASERS; GAS ATMOSPHERE; LASER CUTTING; SILICON WAFER DICING;

SOLID STATE LASERS;

EID: 5444225620     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.532133     Document Type: Conference Paper

References (5)

1. S. Dauer: "Nd:YAG-Laserstrukturierung in der Silizium- Mikromechanik" (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik, Bd. 3) Shaker Verlag 1999, Aachen, Januar 1999
2. H. Hügel: "Strahlwerkzeug Laser - Eine Einführung" (Teubner-Studienbücher: Maschinenbau) B.G. Teubner 1992, Stuttgart, 1992
3. VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien: "Abtragen, Bohren, und Trennen mit Festkörperlasern" (Handbuchreihe: Laser in der Materialbearbeitung, Bd. 7) VDI-Verlag GmbH, Düsseldorf, 1996
4. VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien: "Präzise Optische Behandlung von Festkörpern Oberflächenbearbeitung" (Handbuchreihe: Laser in der Materialbearbeitung, Bd. 5) VDI-Verlag GmbH, Düsseldorf, 1996
5. T. Corboline, E. C. Rea, Jr., C. Dunsky: "High Power UV Laser Machining of Silicon Wafers" Proceedings of SPIE Vol. 5063 Fourth International Symposium on Laser Precision Microfabrication, S. 495-500