Laser-chemical vapor deposition of W Schottky contacts on GaAs using WF6 and SiH4

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 10, 1997, Pages 6607-6611

  Tabbal, Malek ^a,b   Meunier, Michel ^a   Izquierdo, Ricardo ^a   Beau, Bénédicte ^a   Yelon, Arthur ^a  

^a ÉCOLE POLYTECHNIQUE DE MONTRÉAL   (Canada)

^b INRS EMT   (Canada)

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EID: 5244249254     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.365199     Document Type: Article

References (26)

1. Photochemical Processing of Electronic Materials, edited by I. W. Boyd and R. B. Jackman (Academic, London), p. 465.
2. M. Meunier, P. Desjardins, R. Izquierdo, M. Tahbai, and M. Suys, NATO ASI Ser. B 265, 319 (1994).
3. K. Sugioka and K. Toyoda, J. Vac. Sci. Technol. B 6. 1694 (1988).
4. F. Foulon, M. Green, F. N. Goodall, and S. De Unamuno, J. Appl. Phys. 71, 2898 (1992).
5. F. Foulon and M. Stuke, Appl. Phys. Lett. 62, 2173 (1993).
6. T. H. Baum, E. E. Marinero. and C. R. Jones, Appl. Phys. Lett. 49, 1213 (1986).
7. H. Yokoyama, F. Uesugi, S. Kishida. and K. Washio, Appl. Phys. A 37, 25 (1985).
8. R. K. Montgomery and T. D. Mantei, Appl. Phys. Lett. 48, 493 (1986).
9. J. Y. Josefowicz and D. B. Rensch, J. Vac. Sci. Technol. B 5, 1707 (1987).
10. F. A. Flitsch, J. R. Swanson, and C. M. Friend, Surf. Sci. 245, 85 (1991).
11. Y. Pauleau and P. Lami, J. Electrochem. Soc. 132, 2779 (1985).
12. G. Auvert, Y. Pauleau, and D. Tonneau, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 158, 155 (1990).
13. J. G. Black, S. P. Doran, M. Rothschild, and D. J. Ehrlich, Appl. Phys. Lett. 56, 1072 (1990).
14. P. Desjardins, R. Izquierdo, and M. Meunier, J. Appl. Phys. 73, 5216 (1993).
15. A. J. P. Van Maaren, W. C. Sinke, and J. Flicstein, J. Appl. Phys. 73, 1981 (1993).
16. R. L. Krans, Ph.D. thesis, Utrecht University, Utrecht. Holland, 1991.
17. A. Lecours, R. Izquierdo, M. Tabbal, M. Meunier, and A. Yelon, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 51 (1993).
18. M. Tabbal, R. Izquierdo, M. Meunier, and A. Yelon, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 282, 191 (1993).
19. M. Meunier, M. Tabbal, M. Suys, R. Izquierdo, A. Yelon. E. Sacher, and S. Poulin, Proc. SPIE 2045, 84 (1993).
20. M. Meunier, M. Suys, M. Tabbal, R. Izquierdo, A. Yelon, and E. Sacher, Appl. Surf. Sci. 79/80, 208 (1994).
21. M. Tabbal, Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal, 1994.
22. E. J. Mclnerney, T. W. Mountsier, B. L. Chin, and E. K. Broadbent. J. Vac. Sci. Technol. B 11, 734 (1993).
23. M. Tabbal, A. Lecours, R. Izquierdo, M. Meunier, and A. Yelon, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 236, 127 (1992).
24. A. Katz, A. Feingold, S. Nakahara, and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. 61, 525 (1992).
25. M. Tabbal, R. Izquierdo, M. Meunier, C. Pépin, and A. Yelon, Appl. Surf. Sci. 108, 417(1997).
26. Y. T. Kim, C. W. Lee, C. W. Han, J. S. Hong, and S.-K. Min. Appl. Phys. Lett. 61, 1205 (1992).