-
1
-
-
0036478645
-
-
J. C. Ahn, S. B. Kim, T. S. Cho, M. C. Choi, D. G. Joh, M. W. Moon, Y. Seo, S. O. Kang, G. S. Cho, E. H. Choi and H. S. Uhm, Jpn. J. Appl. Phys. 41, 2A, 860 (2002).
-
J. C. Ahn, S. B. Kim, T. S. Cho, M. C. Choi, D. G. Joh, M. W. Moon, Y. Seo, S. O. Kang, G. S. Cho, E. H. Choi and H. S. Uhm, Jpn. J. Appl. Phys. 41, 2A, 860 (2002).
-
-
-
-
4
-
-
0000259983
-
-
J. G. Kim, M. C. Choi, J. C. Ahn, T. S. Cho, D. S. Cho, J. Y. Lim, M. W. Jung, S. H. Choi, S. S. Kim, J. J. Ko, D. I. Kim, C. W. Lee, Y. H. Seo, G. S. Cho, S. O. Kang and E. H. Choi, Korean Appl. Phys. 40, 211 (2000).
-
(2000)
Korean Appl. Phys
, vol.40
, pp. 211
-
-
Kim, J.G.1
Choi, M.C.2
Ahn, J.C.3
Cho, T.S.4
Cho, D.S.5
Lim, J.Y.6
Jung, M.W.7
Choi, S.H.8
Kim, S.S.9
Ko, J.J.10
Kim, D.I.11
Lee, C.W.12
Seo, Y.H.13
Cho, G.S.14
Kang, S.O.15
Choi, E.H.16
-
5
-
-
0036918718
-
-
E. H. Choi, J. C. Ahn, M. W. Moon, J. G. Kim, M. C. Choi, C. G. Ryu, S. H. Choi, T. S. Cho, Y. Jung, G. S. Cho and H. S. Uhm, IEEE Trans. Plasma Sci. TPS 30, 2160 (2002).
-
(2002)
IEEE Trans. Plasma Sci. TPS
, vol.30
, pp. 2160
-
-
Choi, E.H.1
Ahn, J.C.2
Moon, M.W.3
Kim, J.G.4
Choi, M.C.5
Ryu, C.G.6
Choi, S.H.7
Cho, T.S.8
Jung, Y.9
Cho, G.S.10
Uhm, H.S.11
-
6
-
-
33646137138
-
-
P. H. Oh, J. H. Lee, S. H. Jeong, H. S. Moon, S. B. Lee, K. B. Song, Y. Jung, Y. Kim, G. Cho, H. S. Uhm and E. H. Choi, IEEE Trans. Plasma Sci. TPS 34, 317 (2006).
-
(2006)
IEEE Trans. Plasma Sci. TPS
, vol.34
, pp. 317
-
-
Oh, P.H.1
Lee, J.H.2
Jeong, S.H.3
Moon, H.S.4
Lee, S.B.5
Song, K.B.6
Jung, Y.7
Kim, Y.8
Cho, G.9
Uhm, H.S.10
Choi, E.H.11
-
7
-
-
0037080763
-
-
Y. Noguchi, A. Matsuoka, K. Uchino and M. Muraoka, J. Appl. Phys. 91, 613 (2002).
-
(2002)
J. Appl. Phys
, vol.91
, pp. 613
-
-
Noguchi, Y.1
Matsuoka, A.2
Uchino, K.3
Muraoka, M.4
-
8
-
-
79956018686
-
-
E. H. Choi, J. C. Ahn, M. W. Moon, Y. Jung, M. C. Choi, Y. Seo, G. Cho, H. S. Uhm. K. Tachibana, K. W. Whang and M. Kristiansen, Appl. Phys. Lett. 81, 3341 (2002).
-
(2002)
Appl. Phys. Lett
, vol.81
, pp. 3341
-
-
Choi, E.H.1
Ahn, J.C.2
Moon, M.W.3
Jung, Y.4
Choi, M.C.5
Seo, Y.6
Cho, G.7
Uhm, H.S.8
Tachibana, K.9
Whang, K.W.10
Kristiansen, M.11
-
9
-
-
0036470697
-
-
H. S. Uhm, K. W. Whang, E. H. Choi and S. S. Kim, Phys. Plasmas, 9, 706 (2002).
-
(2002)
Phys. Plasmas
, vol.9
, pp. 706
-
-
Uhm, H.S.1
Whang, K.W.2
Choi, E.H.3
Kim, S.S.4
-
10
-
-
0001164062
-
-
G. S. Cho, E. H. Choi, Y. G. Kim, H. S. Uhm, Y. D. Joo, J. G. Han, M. C. Kim and J. D. Kim, J. Appl. Phys. 87, 4113 (2000).
-
(2000)
J. Appl. Phys
, vol.87
, pp. 4113
-
-
Cho, G.S.1
Choi, E.H.2
Kim, Y.G.3
Uhm, H.S.4
Joo, Y.D.5
Han, J.G.6
Kim, M.C.7
Kim, J.D.8
-
11
-
-
0032670196
-
-
G. S. Cho, E. H. Choi, J. G. Kim, Y. G. Kim, J. J. Ko, D. I. Kim, C. W. Lee, Y. H. Seo and H. S. Uhm, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 830 (1999).
-
(1999)
Jpn. J. Appl. Phys
, vol.38
, pp. 830
-
-
Cho, G.S.1
Choi, E.H.2
Kim, J.G.3
Kim, Y.G.4
Ko, J.J.5
Kim, D.I.6
Lee, C.W.7
Seo, Y.H.8
Uhm, H.S.9
-
15
-
-
34948819733
-
-
J. Y. Lim, J. S. Oh, B. D. Ko, J. W. Cho, S. O. Kang, G. Cho, H. S. Uhm and E. H. Choi, J Appl. Phys. 94, 1 (2002).
-
(2002)
J Appl. Phys
, vol.94
, pp. 1
-
-
Lim, J.Y.1
Oh, J.S.2
Ko, B.D.3
Cho, J.W.4
Kang, S.O.5
Cho, G.6
Uhm, H.S.7
Choi, E.H.8
-
18
-
-
33749841794
-
-
B. K. Joung, J. S. Kim, S. O. Kwon, K. O. Song and H. J. Hwang, J. Korean Phys. Soc. 49, 1287 (2006).
-
(2006)
J. Korean Phys. Soc
, vol.49
, pp. 1287
-
-
Joung, B.K.1
Kim, J.S.2
Kwon, S.O.3
Song, K.O.4
Hwang, H.J.5
|