Epitaxial TiC/SiC multilayers

Physica Status Solidi - Rapid Research Letters

Volumn 1, Issue 3, 2007, Pages 113-115

  Eklund, Perek ^a   Hogberg H ^a   Hultman, L ^a  

^a LINKÖPING UNIVERSITY   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EPITAXIAL GROWTH; EPITAXIAL LAYERS; MAGNETRON SPUTTERING; NANOCRYSTALLINE MATERIALS; SILICON CARBIDE; SUBSTRATES; THERMAL EFFECTS; TITANIUM CARBIDE;

EPITAXIAL MULTILAYERS; NANOCRYSTALLINE LAYERS; RENUCLEATION;

MULTILAYERS;

EID: 34548351711     PISSN: 18626254     EISSN: 18626270     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssr.200701027     Document Type: Article

References (13)

1. J. Musil, Surf. Coat. Technol. 125, 322 (2000).
2. S. Veprek, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2401 (1999).
3. P. Eklund, J. Emmerlich, H. Högberg, O. Wilhelmsson, P. lsberg, J. Birch, P. O. Å. Persson, U. Jansson, and L. Hultman, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2486 (2005).
4. P. Eklund, C. Virojanadara, J. Emmerlich, L. I. Johansson, H. Högberg, and L. Hultman, Phys. Rev. B 74, 045417 (2006).
5. See, e.g., P. M. Sarro, Sens. Actuators A 82, 210 (2000).
6. L. Hultman, J. Bareño, A. Flink, H. Söderberg, K. Larsson, V. Petrova, M. Oden, J. E. Greene, and I. Petrov, Phys. Rev. B 75, 130711 (2007).
7. S.-K. Lee, C.-M. Zetterling, E. Danielsson, M. Östling, J.-P. Palmquist, H. Högberg, and U. Jansson, Appl. Phys. Lett. 77, 1478 (2000).
8. H. Högberg, J. Birch, M. Odén, J.-O. Malm, L. Hultman, and U. Jansson, J. Mater. Res. 16, 1301 (2001).
9. L. Norin, H. Högberg, J. Lu, U. Jansson, and J.-O. Malm, Appl. Phys. Lett. 73, 2754 (1998).
10. W. Sekkai, A. Zaoui, and S. Schmauder, Appl. Phys. Lett. 86, 163108 (2006).
11. J. Lao, N. Shao, F. Mei, G. Li, and M. Gu, Appl. Phys. Lett. 86, 011902 (2005).
12. M. Kong, J. Dai, J. Lao, and G. Li, Appl. Surf. Sci. 253, 4734 (2007).
13. J. Emmerlich, H. Högberg, Sz. Sasvári, P. O. Å. Persson, L. Hultman, J.-P. Palmquist, U. Jansson, J. M. Molina-Aldareguia, and Zs. Czigány, J. Appl. Phys. 96, 4817 (2004).