메뉴 건너뛰기




Volumn 101, Issue 4, 2007, Pages

Nanosecond-laser plasma-assisted ultradeep microdrilling of optically opaque and transparent solids

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ABLATIVE PLASMA; LASER INTENSITY; MELT POOLS; NANOSECOND LASERS;

EID: 33847627030     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2434829     Document Type: Article
Times cited : (35)

References (52)
  • 4
    • 0002001011 scopus 로고    scopus 로고
    • R. E. Russo, X. L. Mao, H. C. Liu, J. H. Yoo, and S. S. Mao, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 0947-8396 10.1007/s003390051553 69, 887 (1999); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 76, 783 (2000).
    • (2000) Appl. Phys. Lett. , vol.76 , pp. 783
    • Yoo, J.H.1    Jeong, S.H.2    Mao, X.L.3    Greif, R.4    Russo, R.E.5
  • 9
    • 0003939068 scopus 로고
    • edited by I. S.Grigor'ev and E. Z.Meylikhov (Energoatomizdat, Moscow
    • Fizicheskie Velichini, edited by, I. S. Grigor'ev, and, E. Z. Meylikhov, (Energoatomizdat, Moscow, 1991).
    • (1991) Fizicheskie Velichini
  • 14
    • 0001040211 scopus 로고
    • 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.75.4536
    • C. Suarez, W. E. Bron, and T. Juhasz, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.75.4536 75, 4536 (1995); J. Hohlfeld, J. G. Müller, S.-S. Wellershoff, and E. Matthias, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 64, 387 (1997).
    • (1995) Phys. Rev. Lett. , vol.75 , pp. 4536
    • Suarez, C.1    Bron, W.E.2    Juhasz, T.3
  • 22
    • 0004024908 scopus 로고
    • Wiley, New York
    • C. R. Phipps and R. W. Dreyfus, Laser Ionization Mass Analysis (Wiley, New York, 1993); C. P. Phipps, J. R. Luke, T. Lippert, M. Hauer, and A. Wokaun, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 79, 1385 (2004).
    • (1993) Laser Ionization Mass Analysis
    • Phipps, C.R.1    Dreyfus, R.W.2
  • 25
    • 0001572277 scopus 로고
    • 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.41.243
    • L. M. Wickens, J. E. Allen, and P. T. Rumsby, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.41.243 41, 243 (1978); P. Alaterre, C. Chenais-Popovics, P. Audebert, J. P. Geindre, and J. C. Gauthier, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.32.324 32, 324 (1985); W. H. Goldstein, R. S. Walling, J. Bailey, M. H. Chen, R. Fortner, M. Klapisch, T. Phillips, and R. E. Stewart, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.58.2300 58, 2300 (1987); B. K. F. Young, R. E. Stewart, C. J. Cerjan, G. Charatis, and G. E. Busch, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.61.2851 61, 2851 (1988); L. Zhang, S. Han, Z. Xu, Z. Zhang, P. Fan, and L. Sun, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.51. 6059 51, 6059 (1995); S. H. Glenzer, Phys. Rev. Lett. 82, 97 (1999).
    • (1978) Phys. Rev. Lett. , vol.41 , pp. 243
    • Wickens, L.M.1    Allen, J.E.2    Rumsby, P.T.3
  • 26
    • 0000878091 scopus 로고
    • 1050-2947 10.1103/PhysRevA.32.324
    • L. M. Wickens, J. E. Allen, and P. T. Rumsby, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.41.243 41, 243 (1978); P. Alaterre, C. Chenais-Popovics, P. Audebert, J. P. Geindre, and J. C. Gauthier, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.32.324 32, 324 (1985); W. H. Goldstein, R. S. Walling, J. Bailey, M. H. Chen, R. Fortner, M. Klapisch, T. Phillips, and R. E. Stewart, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.58.2300 58, 2300 (1987); B. K. F. Young, R. E. Stewart, C. J. Cerjan, G. Charatis, and G. E. Busch, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.61.2851 61, 2851 (1988); L. Zhang, S. Han, Z. Xu, Z. Zhang, P. Fan, and L. Sun, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.51. 6059 51, 6059 (1995); S. H. Glenzer, Phys. Rev. Lett. 82, 97 (1999).
    • (1985) Phys. Rev. A , vol.32 , pp. 324
    • Alaterre, P.1    Chenais-Popovics, C.2    Audebert, P.3    Geindre, J.P.4    Gauthier, J.C.5
  • 27
    • 4243791391 scopus 로고
    • 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.58.2300
    • L. M. Wickens, J. E. Allen, and P. T. Rumsby, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.41.243 41, 243 (1978); P. Alaterre, C. Chenais-Popovics, P. Audebert, J. P. Geindre, and J. C. Gauthier, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.32.324 32, 324 (1985); W. H. Goldstein, R. S. Walling, J. Bailey, M. H. Chen, R. Fortner, M. Klapisch, T. Phillips, and R. E. Stewart, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.58.2300 58, 2300 (1987); B. K. F. Young, R. E. Stewart, C. J. Cerjan, G. Charatis, and G. E. Busch, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.61.2851 61, 2851 (1988); L. Zhang, S. Han, Z. Xu, Z. Zhang, P. Fan, and L. Sun, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.51. 6059 51, 6059 (1995); S. H. Glenzer, Phys. Rev. Lett. 82, 97 (1999).
    • (1987) Phys. Rev. Lett. , vol.58 , pp. 2300
    • Goldstein, W.H.1    Walling, R.S.2    Bailey, J.3    Chen, M.H.4    Fortner, R.5    Klapisch, M.6    Phillips, T.7    Stewart, R.E.8
  • 28
    • 0001388776 scopus 로고
    • 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.61.2851
    • L. M. Wickens, J. E. Allen, and P. T. Rumsby, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.41.243 41, 243 (1978); P. Alaterre, C. Chenais-Popovics, P. Audebert, J. P. Geindre, and J. C. Gauthier, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.32.324 32, 324 (1985); W. H. Goldstein, R. S. Walling, J. Bailey, M. H. Chen, R. Fortner, M. Klapisch, T. Phillips, and R. E. Stewart, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.58.2300 58, 2300 (1987); B. K. F. Young, R. E. Stewart, C. J. Cerjan, G. Charatis, and G. E. Busch, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.61.2851 61, 2851 (1988); L. Zhang, S. Han, Z. Xu, Z. Zhang, P. Fan, and L. Sun, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.51. 6059 51, 6059 (1995); S. H. Glenzer, Phys. Rev. Lett. 82, 97 (1999).
    • (1988) Phys. Rev. Lett. , vol.61 , pp. 2851
    • Young, B.K.F.1    Stewart, R.E.2    Cerjan, C.J.3    Charatis, G.4    Busch, G.E.5
  • 29
    • 5544241567 scopus 로고
    • 1063-651X 10.1103/PhysRevE.51.6059
    • L. M. Wickens, J. E. Allen, and P. T. Rumsby, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.41.243 41, 243 (1978); P. Alaterre, C. Chenais-Popovics, P. Audebert, J. P. Geindre, and J. C. Gauthier, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.32.324 32, 324 (1985); W. H. Goldstein, R. S. Walling, J. Bailey, M. H. Chen, R. Fortner, M. Klapisch, T. Phillips, and R. E. Stewart, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.58.2300 58, 2300 (1987); B. K. F. Young, R. E. Stewart, C. J. Cerjan, G. Charatis, and G. E. Busch, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.61.2851 61, 2851 (1988); L. Zhang, S. Han, Z. Xu, Z. Zhang, P. Fan, and L. Sun, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.51. 6059 51, 6059 (1995); S. H. Glenzer, Phys. Rev. Lett. 82, 97 (1999).
    • (1995) Phys. Rev. e , vol.51 , pp. 6059
    • Zhang, L.1    Han, S.2    Xu, Z.3    Zhang, Z.4    Fan, P.5    Sun, L.6
  • 30
    • 0033521312 scopus 로고    scopus 로고
    • L. M. Wickens, J. E. Allen, and P. T. Rumsby, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.41.243 41, 243 (1978); P. Alaterre, C. Chenais-Popovics, P. Audebert, J. P. Geindre, and J. C. Gauthier, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.32.324 32, 324 (1985); W. H. Goldstein, R. S. Walling, J. Bailey, M. H. Chen, R. Fortner, M. Klapisch, T. Phillips, and R. E. Stewart, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.58.2300 58, 2300 (1987); B. K. F. Young, R. E. Stewart, C. J. Cerjan, G. Charatis, and G. E. Busch, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.61.2851 61, 2851 (1988); L. Zhang, S. Han, Z. Xu, Z. Zhang, P. Fan, and L. Sun, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.51. 6059 51, 6059 (1995); S. H. Glenzer, Phys. Rev. Lett. 82, 97 (1999).
    • (1999) Phys. Rev. Lett. , vol.82 , pp. 97
    • Glenzer, S.H.1
  • 34
    • 3743090606 scopus 로고
    • 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.69.1383
    • S. C. Wilks, W. L. Kruer, M. Tabak, and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.69.1383 69, 1383 (1992); X. Y. Wang and M. C. Downer, Opt. Lett. 0146-9592 17, 1450 (1992); A. Rousse, P. Audebert, J. P. Jeindre, F. Fallies, J.-C. Gauthier, A. Mysyrowicz, G. Grillon, and A. Antonetti, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.50.2200 50, 2200 (1994); G. Guethlein, M. E. Foord, and D. Price, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.77.1055 77, 1055 (1996); S. Bastiani, A. Rousse, J. P. Jeindre, P. Audebert, C. Quoix, G. Hamoniaux, A. Antonetti, and J.-C. Gauthier, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.56.7179 56, 7179 (1997); L. A. Gizzi, A. Guilietti, O. Willi, and D. Riley, Phys. Rev. E 62, 2721 (2000).
    • (1992) Phys. Rev. Lett. , vol.69 , pp. 1383
    • Wilks, S.C.1    Kruer, W.L.2    Tabak, M.3    Langdon, A.B.4
  • 35
    • 84975562790 scopus 로고
    • 0146-9592
    • S. C. Wilks, W. L. Kruer, M. Tabak, and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.69.1383 69, 1383 (1992); X. Y. Wang and M. C. Downer, Opt. Lett. 0146-9592 17, 1450 (1992); A. Rousse, P. Audebert, J. P. Jeindre, F. Fallies, J.-C. Gauthier, A. Mysyrowicz, G. Grillon, and A. Antonetti, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.50.2200 50, 2200 (1994); G. Guethlein, M. E. Foord, and D. Price, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.77.1055 77, 1055 (1996); S. Bastiani, A. Rousse, J. P. Jeindre, P. Audebert, C. Quoix, G. Hamoniaux, A. Antonetti, and J.-C. Gauthier, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.56.7179 56, 7179 (1997); L. A. Gizzi, A. Guilietti, O. Willi, and D. Riley, Phys. Rev. E 62, 2721 (2000).
    • (1992) Opt. Lett. , vol.17 , pp. 1450
    • Wang, X.Y.1    Downer, M.C.2
  • 36
    • 35348871605 scopus 로고
    • 1063-651X 10.1103/PhysRevE.50.2200
    • S. C. Wilks, W. L. Kruer, M. Tabak, and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.69.1383 69, 1383 (1992); X. Y. Wang and M. C. Downer, Opt. Lett. 0146-9592 17, 1450 (1992); A. Rousse, P. Audebert, J. P. Jeindre, F. Fallies, J.-C. Gauthier, A. Mysyrowicz, G. Grillon, and A. Antonetti, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.50.2200 50, 2200 (1994); G. Guethlein, M. E. Foord, and D. Price, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.77.1055 77, 1055 (1996); S. Bastiani, A. Rousse, J. P. Jeindre, P. Audebert, C. Quoix, G. Hamoniaux, A. Antonetti, and J.-C. Gauthier, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.56.7179 56, 7179 (1997); L. A. Gizzi, A. Guilietti, O. Willi, and D. Riley, Phys. Rev. E 62, 2721 (2000).
    • (1994) Phys. Rev. e , vol.50 , pp. 2200
    • Rousse, A.1    Audebert, P.2    Jeindre, J.P.3    Fallies, F.4    Gauthier, J.-C.5    Mysyrowicz, A.6    Grillon, G.7    Antonetti, A.8
  • 37
    • 4243803230 scopus 로고    scopus 로고
    • 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.77.1055
    • S. C. Wilks, W. L. Kruer, M. Tabak, and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.69.1383 69, 1383 (1992); X. Y. Wang and M. C. Downer, Opt. Lett. 0146-9592 17, 1450 (1992); A. Rousse, P. Audebert, J. P. Jeindre, F. Fallies, J.-C. Gauthier, A. Mysyrowicz, G. Grillon, and A. Antonetti, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.50.2200 50, 2200 (1994); G. Guethlein, M. E. Foord, and D. Price, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.77.1055 77, 1055 (1996); S. Bastiani, A. Rousse, J. P. Jeindre, P. Audebert, C. Quoix, G. Hamoniaux, A. Antonetti, and J.-C. Gauthier, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.56.7179 56, 7179 (1997); L. A. Gizzi, A. Guilietti, O. Willi, and D. Riley, Phys. Rev. E 62, 2721 (2000).
    • (1996) Phys. Rev. Lett. , vol.77 , pp. 1055
    • Guethlein, G.1    Foord, M.E.2    Price, D.3
  • 38
    • 0001658566 scopus 로고    scopus 로고
    • 1063-651X 10.1103/PhysRevE.56.7179
    • S. C. Wilks, W. L. Kruer, M. Tabak, and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.69.1383 69, 1383 (1992); X. Y. Wang and M. C. Downer, Opt. Lett. 0146-9592 17, 1450 (1992); A. Rousse, P. Audebert, J. P. Jeindre, F. Fallies, J.-C. Gauthier, A. Mysyrowicz, G. Grillon, and A. Antonetti, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.50.2200 50, 2200 (1994); G. Guethlein, M. E. Foord, and D. Price, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.77.1055 77, 1055 (1996); S. Bastiani, A. Rousse, J. P. Jeindre, P. Audebert, C. Quoix, G. Hamoniaux, A. Antonetti, and J.-C. Gauthier, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.56.7179 56, 7179 (1997); L. A. Gizzi, A. Guilietti, O. Willi, and D. Riley, Phys. Rev. E 62, 2721 (2000).
    • (1997) Phys. Rev. e , vol.56 , pp. 7179
    • Bastiani, S.1    Rousse, A.2    Jeindre, J.P.3    Audebert, P.4    Quoix, C.5    Hamoniaux, G.6    Antonetti, A.7    Gauthier, J.-C.8
  • 39
    • 0034238997 scopus 로고    scopus 로고
    • S. C. Wilks, W. L. Kruer, M. Tabak, and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.69.1383 69, 1383 (1992); X. Y. Wang and M. C. Downer, Opt. Lett. 0146-9592 17, 1450 (1992); A. Rousse, P. Audebert, J. P. Jeindre, F. Fallies, J.-C. Gauthier, A. Mysyrowicz, G. Grillon, and A. Antonetti, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.50.2200 50, 2200 (1994); G. Guethlein, M. E. Foord, and D. Price, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.77.1055 77, 1055 (1996); S. Bastiani, A. Rousse, J. P. Jeindre, P. Audebert, C. Quoix, G. Hamoniaux, A. Antonetti, and J.-C. Gauthier, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.56.7179 56, 7179 (1997); L. A. Gizzi, A. Guilietti, O. Willi, and D. Riley, Phys. Rev. E 62, 2721 (2000).
    • (2000) Phys. Rev. e , vol.62 , pp. 2721
    • Gizzi, L.A.1    Guilietti, A.2    Willi, O.3    Riley, D.4
  • 41
    • 4243130388 scopus 로고
    • 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.42.236
    • P. H.-Y. Lee and M. D. Rosen, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.42.236 42, 236 (1979); J. R. Albritton and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 45, 1794 (1980).
    • (1979) Phys. Rev. Lett. , vol.42 , pp. 236
    • Lee, P.H.-Y.1    Rosen, M.D.2
  • 42
    • 23744433613 scopus 로고
    • P. H.-Y. Lee and M. D. Rosen, Phys. Rev. Lett. 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.42.236 42, 236 (1979); J. R. Albritton and A. B. Langdon, Phys. Rev. Lett. 45, 1794 (1980).
    • (1980) Phys. Rev. Lett. , vol.45 , pp. 1794
    • Albritton, J.R.1    Langdon, A.B.2
  • 47
    • 33747456802 scopus 로고
    • Moscow, Nauka
    • S. I. Anisimov, A. M. Bonch-Bruevich, M. A. El'yashevich, Ya. A. Imas, N. A. Pavlenko, and G. S. Romanov, Sov. Phys. Tech. Phys. 11, 935 (1967); see also A. A. Samokhin, Reports of General Physics Institute (Moscow, Nauka, 1988), Vol. 13 (in Russian); S. I. Anisimov and V. A. Khokhlov, Instabilities in Laser-Matter Interactions (CRC, Boca Raton, FL, 1995).
    • (1988) Reports of General Physics Institute , vol.13
    • Samokhin, A.A.1
  • 48
    • 0003545850 scopus 로고
    • CRC, Boca Raton, FL
    • S. I. Anisimov, A. M. Bonch-Bruevich, M. A. El'yashevich, Ya. A. Imas, N. A. Pavlenko, and G. S. Romanov, Sov. Phys. Tech. Phys. 11, 935 (1967); see also A. A. Samokhin, Reports of General Physics Institute (Moscow, Nauka, 1988), Vol. 13 (in Russian); S. I. Anisimov and V. A. Khokhlov, Instabilities in Laser-Matter Interactions (CRC, Boca Raton, FL, 1995).
    • (1995) Instabilities in Laser-Matter Interactions
    • Anisimov, S.I.1    Khokhlov, V.A.2


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.