Concept, techniques, deposition mechanism of impulse plasma deposition - A short review

Surface and Coatings Technology

Volumn 201, Issue 9-11 SPEC. ISS., 2007, Pages 4813-4816

  Zdunek, Krzysztof ^a  

^a WARSAW UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Poland)

Author keywords

PA PVD CVD; Plasma surface engineering; Thin films

Indexed keywords

NANOSTRUCTURED MATERIALS; NUCLEATION; PLASMAS; THIN FILMS; TITANIUM NITRIDE;

IMPULSE PLASMA DEPOSITION; PLASMA SURFACE ENGINEERING;

VAPOR DEPOSITION;

NANOSTRUCTURED MATERIALS; NUCLEATION; PLASMAS; THIN FILMS; TITANIUM NITRIDE; VAPOR DEPOSITION;

EID: 33846552286     PISSN: 02578972     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2006.07.024     Document Type: Article

References (33)

1. Aisenberg S., and Chabot R. J. Appl. Phys. 42 (1971) 2953
2. Sokolowski M. J. Cryst. Growth 54 (1981) 519
3. Sokolowski M., and Sokolowska A. J. Cryst. Growth 57 (1982) 185
4. Rusanow A. J. Colloid Interface Sci. 68 (1972) 32
5. Kashchiew D. J. Cryst. Growth 13/14 (1972) 128
6. Rusek A., and Zdunek K. Vacuum 48 (1989) 55
7. Zdunek K. Vacuum 42 (1991) 469
8. Zdunek K. Surf. Coat. Technol. 74 (1995) 94
9. Zdunek K., and Karwat T. Vacuum 47 (1996) 1391
10. Rabinski M., and Zdunek K. Vacuum 48 (1997) 715
11. Rabinski, and Zdunek K. Surf. Coat. Technol. 116-119 (1999) 679
12. Rabinski M., and Zdunek K. Vacuum 70 (2003) 303
13. Rabinski M., Zdunek K., Paduch M., and Tomaszewski K. Surf. Coat. Technol. 142-144 (2001)
14. Baranowski J., Jakubowski L., Rabinski M., and Zdunek K. Czechoslov. J. Phys. 52 (2002) D188
15. Sokolowski M., Sokolowska A., Gokieli B., Michalski A., Rusek A., and Romanowski Z. J. Cryst. Growth 47 (1979) 421
16. B. Gokieli, Doctoral Thesis, Institute of Materials Science, Warsaw University of Technology, 1980 (in Polish).
17. Rabinski M., and Zdunek K. Surf. Coat. Technol. 173-174 (2003) 964
18. Sokolowska A., Zdunek K., Grigoriew H., and Romanowski Z. J. Mater. Sci. 21 (1986) 703
19. Walkowicz J. J. Chem. Vapor. Depos. 4 (1995) 38
20. Olszyna A. In: Vinzenzini D. (Ed). Advances in Sci. and Techn. (1995), Techna, Firenze
21. Michalski A. J. Mater. Sci. Lett. 3 (1984) 505
22. Zdunek K. J. Mater. Sci. 26 (1991) 4433
23. Zdunek K. Mater. Sci. Eng. 140 (1991) 709
24. Michalski A., and Romanowski Z. J. Cryst. Growth 61 (1983) 675
25. Grigoriew H., and Romanowski Z. J. Mater. Sci. 25 (1990) 2777
26. Zdunek K., and Grigoriew H. J. Mater. Sci. 30 (1995) 4479
27. Zdunek K. Vacuum 44 (1991) 93
28. Romanowski Z., and Wronikowski M. J. Mater. Sci. 27 (1992) 2619
29. Movchan B., and Demchishin A. Fiz. Met. Metalloved. 28 (1969) 653
30. Szmidt J., Sokolowska A., Zdunek K., and Mitura S. Diamond Relat. Mater. 1 (1991) 588
31. Sokolowska A., Olszyna A., Michalski A., and Zdunek K. Surf. Coat. Technol. 47 (1991) 144
32. Elert M., Zdunek K., Dusinski E., and Szmidt J. J. Wide Bandgap Mater. 9 (2002) 109
33. Werbowy, Zdunek K., Dusinski E., Szmidt J., and Elert M. Surf. Coat. Technol. 174-175 (2003) 170