Nanometrology in two and a half dimensions: Development of a nanometer coordinate measuring machine with atomic force scanning;Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung

Technisches Messen

Volumn 73, Issue 9, 2006, Pages 511-521

  Rothe, Hendrik ^a   Gruhlke, Martin ^a   Petersen, Ralph ^b  

^a HELMUT SCHMIDT UNIVERSITY   (Germany)

^b Deutsche Lufthansa AG   (Germany)

Author keywords

AFM; Automation; Coordinate metrology; Nanometrology; Temperature influence

Indexed keywords

AFM; ATOMIC FORCE; COORDINATE METROLOGY; NANOMETROLOGY; POSITIONING SYSTEM; TEMPERATURE INFLUENCE;

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; AUTOMATION; COORDINATE MEASURING MACHINES;

SCANNING;

EID: 33749594667     PISSN: 01718096     EISSN: 01718096     Source Type: Journal    
DOI: 10.1524/teme.2006.73.9.511     Document Type: Article

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