메뉴 건너뛰기




Volumn 14, Issue 6, 2004, Pages 595-604

Photopatternable reflective films produced by nanolayer extrusion

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ABSORPTION SPECTROSCOPY; CHEMICAL BONDS; DIFFERENTIAL SCANNING CALORIMETRY; DIMERIZATION; EXTRUSION; GLASS TRANSITION; NANOSTRUCTURED MATERIALS; PHOTOLITHOGRAPHY; PLASTIC FILMS; POLYMETHYL METHACRYLATES; REFRACTIVE INDEX; THERMOANALYSIS; ULTRAVIOLET RADIATION;

EID: 3042837526     PISSN: 1616301X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.200305446     Document Type: Article
Times cited : (35)

References (51)
  • 12
    • 0004199788 scopus 로고
    • McGraw-Hill, New York
    • See for example: a) W. S. DeForest, Photoresist: Materials and Processes, McGraw-Hill, New York 1975. b) A. Reiser, Photoreactive Polymers: The Science and Technology of Resists, Wiley, New York 1989. c) Photopolymerization: Fundamentals and Applications (Eds: A. B. Scranton, C. N. Bowman, R. W. Pfeiffer), ACS Symposium Series, ACS, Washington, DC 1997, p. 673.
    • (1975) Photoresist: Materials and Processes
    • DeForest, W.S.1
  • 13
    • 0004175815 scopus 로고
    • Wiley, New York
    • See for example: a) W. S. DeForest, Photoresist: Materials and Processes, McGraw-Hill, New York 1975. b) A. Reiser, Photoreactive Polymers: The Science and Technology of Resists, Wiley, New York 1989. c) Photopolymerization: Fundamentals and Applications (Eds: A. B. Scranton, C. N. Bowman, R. W. Pfeiffer), ACS Symposium Series, ACS, Washington, DC 1997, p. 673.
    • (1989) Photoreactive Polymers: The Science and Technology of Resists
    • Reiser, A.1
  • 14
    • 0009721684 scopus 로고    scopus 로고
    • ACS Symposium Series, ACS, Washington, DC
    • See for example: a) W. S. DeForest, Photoresist: Materials and Processes, McGraw-Hill, New York 1975. b) A. Reiser, Photoreactive Polymers: The Science and Technology of Resists, Wiley, New York 1989. c) Photopolymerization: Fundamentals and Applications (Eds: A. B. Scranton, C. N. Bowman, R. W. Pfeiffer), ACS Symposium Series, ACS, Washington, DC 1997, p. 673.
    • (1997) Photopolymerization: Fundamentals and Applications , pp. 673
    • Scranton, A.B.1    Bowman, C.N.2    Pfeiffer, R.W.3
  • 15
    • 0346704264 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) Y. N. Xia, J.A. Rogers, K. E. Paul, G. M. White-sides, Chem. Rev. 1999, 99, 1823. b) S. Holdcroft, Adv. Mater. 2001, 13, 1753. c) H. Ma, A. K. Y. Jen, L. Dalton, Adv. Mater. 2002, 14, 1339.
    • (1999) Chem. Rev. , vol.99 , pp. 1823
    • Xia, Y.N.1    Rogers, J.A.2    Paul, K.E.3    White-Sides, G.M.4
  • 16
    • 0035803383 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) Y. N. Xia, J.A. Rogers, K. E. Paul, G. M. White-sides, Chem. Rev. 1999, 99, 1823. b) S. Holdcroft, Adv. Mater. 2001, 13, 1753. c) H. Ma, A. K. Y. Jen, L. Dalton, Adv. Mater. 2002, 14, 1339.
    • (2001) Adv. Mater. , vol.13 , pp. 1753
    • Holdcroft, S.1
  • 17
    • 0037010143 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) Y. N. Xia, J.A. Rogers, K. E. Paul, G. M. White-sides, Chem. Rev. 1999, 99, 1823. b) S. Holdcroft, Adv. Mater. 2001, 13, 1753. c) H. Ma, A. K. Y. Jen, L. Dalton, Adv. Mater. 2002, 14, 1339.
    • (2002) Adv. Mater. , vol.14 , pp. 1339
    • Ma, H.1    Jen, A.K.Y.2    Dalton, L.3
  • 18
    • 11644268254 scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (1993) Chem. Mater. , vol.5 , pp. 403
    • Xie, S.1    Natansohn, A.2    Rochon, P.3
  • 19
    • 0028463065 scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (1994) Jpn. J. Appl. Phys. , vol.33 , pp. 3942
    • Tanio, N.1    Irie, M.2
  • 20
    • 0029345176 scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (1995) Appl. Phys. A , vol.61 , pp. 23
    • Kardinahl, T.1    Franke, H.2
  • 21
    • 25944473323 scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (1995) J. Phys. Chem. , vol.99
    • Morino, S.1    Machida, S.2    Yamashita, T.3    Horie, K.4
  • 22
    • 0000483814 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (1997) Appl. Phys. Lett. , vol.70 , pp. 2940
    • Kinoshita, K.1    Horie, K.2    Morino, S.3    Nishikubo, T.4
  • 23
    • 0033322954 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (1999) Adv. Mater. , vol.11 , pp. 1387
    • Natansohn, A.1    Rochon, P.2
  • 24
    • 0033891165 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (2000) Appl. Surf. Sci. , vol.154-155 , pp. 706
    • Wochnowski, C.1    Metev, S.2    Sepold, G.3
  • 25
    • 0000487551 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (2000) J. Appl. Phys. , vol.87 , pp. 638
    • Kada, T.1    Obara, A.2    Watanabe, T.3    Miyata, S.4    Liang, C.X.5    Machida, H.6    Kiso, K.7
  • 26
    • 0001618691 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (2000) J. Appl. Phys. , vol.87 , pp. 3240
    • Hattori, T.1    Shibata, T.2    Onodera, S.3    Kaino, T.4
  • 27
    • 0142136393 scopus 로고    scopus 로고
    • See for example: a) S. Xie, A. Natansohn, P. Rochon, Chem. Mater. 1993, 5, 403. b) N. Tanio, M. Irie, Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 3942. c) T. Kardinahl, H. Franke, Appl. Phys. A 1995, 61, 23. d) S. Morino, S. Machida, T. Yamashita, K. Horie, J. Phys. Chem. 1995, 99, 10280. e) K. Kinoshita, K. Horie, S. Morino, T. Nishikubo, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2940. f) A. Natansohn, P. Rochon, Adv. Mater. 1999, 11, 1387. g) C. Wochnowski, S. Metev, G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 2000, 154-155, 706. h) T. Kada, A. Obara, T. Watanabe, S. Miyata, C. X. Liang, H. Machida, K. Kiso, J. Appl. Phys. 2000, 87, 638. i) T. Hattori, T. Shibata, S. Onodera, T. Kaino J. Appl. Phys. 2000, 87, 3240. j) Y. Kato, K. Horie, Macromol. Chem. Phys. 2002, 203, 2290.
    • (2002) Macromol. Chem. Phys. , vol.203 , pp. 2290
    • Kato, Y.1    Horie, K.2
  • 33
    • 37049041083 scopus 로고
    • See for example: a) M. D. Cohen, G. M. J. Schmidt, J. Chem. Soc. 1964, 1996. b) M. D. Cohen, G. M. J. Schmidt, F. I. Sonntag, J. Chem. Soc. 1964, 2000. c) G. M. J. Schmidt, J. Chem. Soc. 1964, 2014.
    • (1964) J. Chem. Soc. , pp. 1996
    • Cohen, M.D.1    Schmidt, G.M.J.2
  • 34
    • 0002095379 scopus 로고
    • See for example: a) M. D. Cohen, G. M. J. Schmidt, J. Chem. Soc. 1964, 1996. b) M. D. Cohen, G. M. J. Schmidt, F. I. Sonntag, J. Chem. Soc. 1964, 2000. c) G. M. J. Schmidt, J. Chem. Soc. 1964, 2014.
    • (1964) J. Chem. Soc. , pp. 2000
    • Cohen, M.D.1    Schmidt, G.M.J.2    Sonntag, F.I.3
  • 35
    • 0000909298 scopus 로고
    • See for example: a) M. D. Cohen, G. M. J. Schmidt, J. Chem. Soc. 1964, 1996. b) M. D. Cohen, G. M. J. Schmidt, F. I. Sonntag, J. Chem. Soc. 1964, 2000. c) G. M. J. Schmidt, J. Chem. Soc. 1964, 2014.
    • (1964) J. Chem. Soc. , pp. 2014
    • Schmidt, G.M.J.1
  • 38
    • 3042806130 scopus 로고    scopus 로고
    • note
    • The characteristics of PMMA/CA and PMMA/MC blends were rather similar. Thus, we have limited our detailed discussion here to the PMMA/CA system. Data for PMMA/MC blends are available as Supplementary Material.
  • 39
    • 3042803057 scopus 로고    scopus 로고
    • note
    • The glass transition temperature of the undecorated PMMA, determined by DSC, was 114°C, which is consistent with a relatively high molecular weight.
  • 50
    • 3042804587 scopus 로고    scopus 로고
    • US provisional patent application filed
    • E. Baer, A. Hiltner, C. Weder, US provisional patent application filed.
    • Baer, E.1    Hiltner, A.2    Weder, C.3


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.