Optical Properties of Multilayer SiNx/SiNy Structures Prepared by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 44, Issue 3 II, 2004, Pages 700-703

  Park, Young Ju ^a   Lee, Tae Kyoung ^a   Lee, Chang Hyo ^b   Kim, Eun Kyu ^b  

^a Korea Institute of Science and Technology   (South Korea)

^b Hanyang University   (South Korea)

Author keywords

Nanostructure; PECVD; Photoluminecence; Quantum size effect

Indexed keywords

EID: 1842816608     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.44.700     Document Type: Conference Paper

References (21)

1. A. Uhlir, Jr., Bell Syst. Tech. 35, 333 (1956).
2. L. T. Canham, Appl. Phys. Lett. 57, 1046 (1990).
3. J. Lyou, E. K. Kim, S.-K. Min and K. Kang, J. Korean Phys. Soc. 30, S269 (1997).
4. R. E. Hummel, A. Morrone, M. Ludwig and S. S. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 271 (1993).
5. A. Frojtik, H. Weller, S. Fiechter and A. Henglein, Chem. Phys. Lett. 134, 477 (1987).
6. H. Takagi, H. Ogawa, Y. Yamazaki, A. Ishizaki and T. Nakagiri, Appl. Phys. Lett. 56, 2379 (1990).
7. J. F. Tong, H. L. Hwang and H. L. Hwang, Appl. Phys. Lett. 74, 2316 (1999).
8. J.-S. Bae, S.-H. Choi, K. J. Kim and D. W. Moon, J. Korean Phys. Soc. 43, 557 (2003).
9. J. C. Shin, W. J. Choi, I. K. Han, Y. J. Park, J. I. Lee, H. J. Kim, J. W. Choi and E. K. Kim, J. Korean Phys. Soc. 42, 165 (2003).
10. J. H. Lee, W. J. Choi, Y. J. Park, I. K. Han, J. I. Lee, W. J. Cho, E. K. Kim, C. M. Lee and H.-W. Kim, J. Korean Phys. Soc. 42, 313 (2003).
11. K. H. Park, Y. Kim, T. H. Chung, H. J. Bark, J. Y. Yi, W. C. Choi and E. K. Kim, J. Korean Phys. Soc. 39, S283 (2001).
12. Z. Pei, Y. R. Chang and H. L. Hwang, Appl. Phys. Lett. 80, 2839 (2002).
13. M.-G. Kim, Z. Yun, J. Lyou, S. Cho, Y. J. Park and E. K. Kim, J. Korean Phys. Soc. 38, 750 (2001).
14. N.-M. Park, T.-S. Kim and S. J. Park, Appl. Phys. Lett. 78, 2575 (2001).
15. M. S. Hybertsen, Phys. Rev. Lett. 72, 1514 (1994).
16. J. R. Proot, C. Delerue and G. Allen, Appl. Phys. Lett. 61, 1948 (1992).
17. T. Takagahara and K. Takeda, Phys. Rev. B 46, 15578 (1992).
18. M. S. Brandt, H. D. Fuchs, M. Stutzmann, J. Weber and M. Cardona, Solid State Comm. 81, 307 (1992).
19. S. M. Prokes, O. J. Glembocki, V. M. Bermudez, R. Kaplan, L. E. Friedersdorf and P. C. Searson, Phys. Rev. B 45, 13788 (1992).
20. Y. Kanemitsu, H. Uto, Y. Masumoto, T. Matsumoto, T. Futagi and H. Mimura, Phys. Rev. B 48, 2827 (1993).
21. K. Kohno, Y. Osaka, F. Toyomura and H. Katayama, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 6616 (1994).