Laser bending of etched silicon microstructures

Microsystem Technologies

Volumn 7, Issue 1, 2001, Pages 23-26

  Gartner E ^a   Fruhauf J ^a   Loschner U ^b   Exner, H ^b  

^a CHEMNITZ UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b UNIVERSITY OF APPLIED SCIENCES MITTWEIDA   (Germany)

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EID: 13444306823     PISSN: 09467076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s005420000065     Document Type: Article

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