The influence of the incidence energy of deposited particles on the growth morphology of thin films

Vacuum

Volumn 57, Issue 1, 2000, Pages 87-97

  Wei, Helin ^a   Liu, Zuli ^a   Yao, Kailun ^a  

^a HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY   (China)

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Film growth; Island morphology; Monte Carlo; Surface diffusion

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EID: 0346483425     PISSN: 0042207X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/s0042-207x(00)00112-3     Document Type: Article

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