Growth of GaN on sapphire (0001) using a supersonic jet of plasma-generated atomic nitrogen

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 23, 1996, Pages 3314-3316

  Sellidj, A ^a   Ferguson, B A ^a   Mattord, T J ^a   Streetman, B G ^a   Mullins, C B ^a  

^a The University of Texas at Austin   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0343476217     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116042     Document Type: Article

References (23)

1. H. Morkoç, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. AIP 76, 1363 (1994).
2. R. F. Davis, Proc. IEEE INS 79, 702 (1991).
3. K. G. Fertitta, A. L. Holmes, F. J. Ciuba, R. D. Dupuis, and F. A. Ponce, J. Electron. Mater. INS 24, 257 (1995).
4. S. Nakamura, Y. Harada, and M. Seno, Appl. Phys. Lett. AIP 58, 2021 (1991).
5. W. E. Hoke, P. J. Lemonias, and D. G. Weir, J. Cryst. Growth INS 111, 1024 (1991).
6. M. S. Brandt, N. M. Johnson, R. J. Molnar, R. Singh, and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. AIP 64, 2264 (1994).
7. T. D. Moustakas, T. Lei, and R. J. Molnar, Physica B INS 185, 36 (1993).
8. R. J. Molnar, R. Singh, and T. D. Moustakas, J. Electron. Mater. INS 24, 275 (1995).
9. M. E. Lin, B. Sverdlov, G. L. Zhou, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. AIP 62, 3479 (1993).
10. M. J. Paisley, Z. Sitar, J. B. Posthill, and R. F. Davis, J. Vac. Sci. Technol. A AIP 7, 701 (1989).
11. M. Rubin, N. Newman, J. S. Chan, T. C. Fu, and J. T. Ross, Appl. Phys. Lett. AIP 64, 64 (1994).
12. T. C. Fu, N. Newman, E. Jones, J. S. Chan, X. Liu, M. D. Rubin, N. W. Cheung, and E. R. Weber, J. Electron. Mater. INS 24, 249 (1995).
13. T. D. Moustakas and R. J. Molnar, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. INS 281, 753 (1993).
14. S. Nakamura, N. Iwasa, M. Senoh, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. INS 31, 1258 (1992).
15. S. Strite, J. Ruan, Z. Li, A. Salvador, H. Chen, D. J. Smith, W. J. Choyke, and H. Morkoç, J. Vac. Sci. Technol. B AIP 9, 1924 (1991).
16. R. J. Molnar and T. D. Moustakas, J. Appl. Phys. AIP 76, 4587 (1994).
17. J. E. Pollard, Rev. Sci. Instrum. AIP 63, 1771 (1992).
18. K. A. Anselm, M.S. thesis, University of Texas at Austin, 1993.
19. B. A. Ferguson, A. Sellidj, B. B. Doris, and C. B. Mullins, J. Vac. Sci. Technol. A AIP 14, 825 (1996).
20. J. B. Anderson, in Molecular Beams and Low Density Gasdynamics, edited by P. P. Wegener (Dekker, New York, 1974), Vol. 1, p. 1.
21. K. A. Pacheco, B. A. Ferguson, C. Li, S. John, S. Banerjee, and C. B. Mullins, Appl. Phys. Lett. AIP 67, 2951 (1995).
22. D. Eres, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. INS 201, 11 (1991).
23. J. Fernandez de la Mora and J. Rosell-Llompart, J. Chem. Phys. AIP 91, 2603 (1989).