Supersonic-jet-assisted growth of GaN and GaAs films

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 14, Issue 3, 1996, Pages 825-830

  Ferguson, B A ^a   Sellidj, A ^a   Doris, B B ^b   Mullins, C B ^a  

^a The University of Texas at Austin   (United States)

^b UNIVERSITY OF TEXAS AT AUSTIN   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0343711321     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580397     Document Type: Article

References (35)

1. D. Wang, T. P. Ma, J. W. Golz, B. L. Halpern, and J. J. Schmitt, IEEE Electron Devices Lett. 13, 482 (1992).
2. B. L. Halpern and J. J. Schmitt, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1623 (1994).
3. S. Zhang, J. Cui, A. Tanaka, and Y. Aoyagi, Appl. Phys. Lett. 64, 1105 (1994).
4. J. Cui, S. Zhang, A. Tanaka, and Y. Aoyagi, Appl. Phys. Lett. 64, 3285 (1994).
5. D. Eres, D. H. Lowndes, and J. Z. Tischler, Appl. Phys. Lett. 55, 1008 (1989).
6. D. Eres, D. H. Lowndes, J. Z. Tischler, J. W. Sharp, T. E. Haynes, and M. F. Chisholm, J. Appl. Phys. 67, 1361 (1990).
7. D. Eres, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 201, 11 (1991).
8. J. R. Engstrom, D. A. Hansen, M. J. Furjanic, and L. Q. Xia, J. Chem. Phys. 99, 4051 (1993).
9. K. A. Pacheco, B. A. Ferguson, C. Li, S. John, S. K. Banerjee, and C. B. Mullins, Appl. Phys. Lett. 67, 2951 (1995).
10. J. Fernandez de la Mora and J. Rosell-Llompart, J. Chem. Phys. 91, 2603 (1989).
11. J. B. Anderson, in Molecular Beams and Low Density Gasdynamics, edited by P. P. Wegener (Dekker, New York, 1974), p. 1.
12. C. T. Rettner, H. E. Pfnür, and D. J. Auerbach, Phys. Rev. Lett. 54, 2716 (1985).
13. W. E. Hoke, P. J. Lemonias, and D. G. Weir, J. Cryst. Growth 111, 1024 (1991).
14. M. S. Brandt, N. M. Johnson, R. J. Molnar, R. Singh, and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. 64, 2264 (1994).
15. T. D. Moustakas, T. Lei, and R. J. Molnar, Phys. B 185, 36 (1993).
16. R. J. Molnar, R. Singh, and T. D. Moustakas, J. Electron. Mater. 24, 275 (1995).
17. R. J. Molnar and T. D. Moustakas, J. Appl. Phys. 76, 4587 (1994).
18. M. E. Lin, B. Sverdlov, G. L. Zhou, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 62, 3479 (1993).
19. M. J. Paisley, Z. Sitar, J. B. Posthill, and R. F. Davis, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 701 (1989).
20. S. Strite, J. Ruan, Z. Li, A. Salvador, H. Chen, D. J. Smith, W. J. Choyke, and H. Morkoç, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1924 (1991).
21. M. Rubin, N. Newman, J. S. Chan, T. C. Fu, and J. T. Ross, Appl. Phys. Lett. 64, 64 (1994).
22. T. C. Fu, N. Newman, E. Jones, J. S. Chan, X. Liu, M. D. Rubin, N. W. Cheung, and E. R. Weber, J. Electron. Mater. 24, 249 (1995).
23. H. Morkoç, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1363 (1994).
24. T. D. Moustakas and R. J. Molnar, Mater. Res. Soc. Symp Proc. 281, 753 (1993).
25. S. Nakamura, N. Iwasa, M. Senoh, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. 31, 1258 (1992).
26. J. E. Miller, M. A. Mardones, J. W. Nail, A. H. Crowley, R. A. Jones, and J. G. Ekerdt, Chem. Mater. 4, 447 (1992).
27. J. G. Ekerdt, Y. M. Sun, M. S. Jackson, V. Lakhotia, K. A. Pacheco, S. U. Koschmieder, A. H. Cowley, and R. A. Jones, J. Cryst. Growth 124, 158 (1992).
28. J. E. Miller and J. G. Ekerdt, Chem. Mater. 6, 343 (1994).
29. V. Lakhotia, J. M. Heitzinger, A. H. Cowley, R. A. Jones, and J. G. Ekerdt, Chem. Mater. 6, 871 (1994).
30. K. T. Higa and C. George, Organometallics 9, 275 (1990).
31. J. E. Miller, Ph.D. thesis, University of Texas at Austin, 1992.
32. J. M. Heitzinger, V. Lakhotia, and J. G. Ekerdt (unpublished).
33. K. A. Anselm, M.S. thesis, University of Texas at Austin, 1993.
34. J. E. Pollard, Rev. Sci. Instrum. 63, 1771 (1992).
35. K. G. Fertitta, A. L. Holmes, F. J. Ciuba, R. D. Dupuis, and F. A. Ponce, J. Electron. Mater. 24, 257 (1995).