Cross-sectional scanning tunneling microscope study of a boron-implanted Si wafer

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 56, Issue 4, 1997, Pages 1948-1957

  Hirayama, H ^a   Koike, M ^a  

^a TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0342316070     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.56.1948     Document Type: Article

References (39)

1. E. Landi, A. Armigliato, S. Solmi, R. Kogler, and E. Wieser, Appl. Phys. A 47, 359 (1988).
2. S. Solmi, E. Landi, and F. Baruffaldi, J. Appl. Phys. 68, 3250 (1990).
3. K. Takayanagi, Y. Tanishiro, S. Takahashi, and M. Takahashi, Surf. Sci. 164, 367 (1985).
4. V. V. Korobtsov, V. G. Lifshits, and A. V. Zotov, Surf. Sci. 195, 466 (1988).
5. H. Hirayama, T. Tatsumi, and N. Aizaki, Surf. Sci. 193, L47 (1988).
6. I.-W. Lyo, E. Kaxiras, and Ph. Avouris, Phys. Rev. Lett. 63, 1261 (1989).
7. P. Bedrossian, R. Meade, K. Mortensen, D. M. Chen, J. A. Golovchenko, and D. Vanderbilt, Phys. Rev. Lett. 63, 1257 (1989).
8. E. Kaxiras, K. C. Pandey, F. J. Himpsel, and R. M. Tromp, Phys. Rev. B 41, 1262 (1990).
9. T.-C. Shen, C. Wang, J. W. Lyding, and J. R. Tucker, Phys. Rev. B 50, 7453 (1994).
10. T. M. H. Wong, A. W. Mckinnon, and M. E. Welland, Surf. Sci. 328, 227 (1995).
11. A. V. Zotov, M. A. Kulakov, S. V. Ryzhkov, A. A. Saranin, V. G. Lifshits, B. Bullermer, and I. Eisele, Surf. Sci. 345, 313 (1996).
12. R. S. Becker, J. A. Golovchenko, G. S. Higashi, and B. S. Swartzentruber, Phys. Rev. Lett. 57, 1020 (1986).
13. M. Tomitori, F. Iwawaki, N. Hirano, F. Katsuki, and O. Nishikawa, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 222 (1990).
14. Y.-N. Yang and E. D. Williams, Phys. Rev. Lett. 72, 1862 (1994).
15. K. Kumamoto, T. Hoshino, K. Kokubun, T. Ishimaru, and I. Ohdomari, Phys. Rev. B 52, 10 784 (1995).
16. M. Y. Tsai and B. G. Streetman, J. Appl. Phys. 50, 183 (1979).
17. W. Gopel and G. Neuenfelt, Surf. Sci. 55, 362 (1976).
18. R. M. Feenstra, W. A. Thompson, and A. P. Fein, Phys. Lett. 56A, 608 (1986).
19. J. A. Stroscio, R. M. Feenstra, and A. P. Fein, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 838 (1987).
20. R.M. Feenstra, J. A. Stroscio, and A. P. Fein, Surf. Sci. 181, 295 (1987).
21. R. M. Feenstra and J. A. Stroscio, Phys. Rev. Lett. 59, 2173 (1987).
22. R. M. Feenstra and M. A. Lutz, Surf. Sci. 243, 151 (1991).
23. L. Csepregi, J. W. Mayer, and T. W. Sigmon, Appl. Phys. Lett. 29, 92 (1976).
24. R. J. Hamers, R. M. Tromp, and J. E. Demuth, Phys. Rev. Lett. 56, 1972 (1986).
25. J. Northrup, Phys. Rev. Lett. 57, 154 (1986).
26. R. J. Hamers, Annu. Rev. Phys. Chem. 40, 531 (1989).
27. R. Wolkow and Ph. Avouris, Phys. Rev. Lett. 60, 1049 (1988).
28. R. S. Becker, B. S. Swartzentruber, J. S. Vickers, and T. Klitsner, Phys. Rev. B 39, 1633 (1989).
29. R. Meade and D. Vanderbilt, Phys. Rev. B 40, 3905 (1989).
30. J. Kanamori, Solid State Commun. 50, 363 (1984).
31. T. Hoshino, K. Kuramoto, K. Kokubun, T. Ishimaru, and I. Ohdomari, Phys. Rev. B 51, 14 594 (1995).
32. M. C. Payne, J. Phys. C 20, L983 (1987).
33. Y. Tanishiro and K. Takayanagi, Ultramicroscopy 31, 20 (1989).
34. W. Swiech, E. Bauer, and M. Mundshau, Surf. Sci. 253, 283 (1991).
35. N. Osakabe, Y. Tanishiro, K. Yagi, and G. Honjo, Surf. Sci. 102, 424 (1981).
36. D. Haneman, Phys. Rev. B 25, 1370 (1982).
37. R. J. Hamers, U. K. Kohler, and J. E. Demuth, Ultramicroscopy 31, 10 (1989).
38. H. Tochihara, W. Shimada, M. Itoh, H. Tanaka, M. Udagawa, and I. Sumita, Phys. Rev. B 45, 11 332 (1992).
39. T. Hasegawa, M. Kohno, S. Hosaka, and S. Hosoki, Phys. Rev. B 48, 1943 (1993).