-
4
-
-
0029252911
-
-
Arnold, J.; Dasbach, U.; Ehrfeld, W.; Hesch, K.; Löwe, H.: Applied Surface Science 86, S. 251 (1995)
-
(1995)
Applied Surface Science
, vol.86
, pp. 251
-
-
Arnold, J.1
Dasbach, U.2
Ehrfeld, W.3
Hesch, K.4
Löwe, H.5
-
5
-
-
0348067719
-
-
Lambda Industrial No. 8, Nov.
-
Lambda Physik, Lambda Industrial No. 8, Nov. 1994, S. 1-6
-
(1994)
Lambda Physik
, pp. 1-6
-
-
-
7
-
-
0346806827
-
Tagungsband d. 41
-
Michel, F.; Ehrfeld, W.; Lehr, H.; Wolf, A.; Gruber, H.-P.; Bertholds, A.: Tagungsband d. 41. Int. Koll. d. TU Ilmenau (1996), S. 233-236
-
(1996)
Int. Koll. d. TU Ilmenau
, pp. 233-236
-
-
Michel, F.1
Ehrfeld, W.2
Lehr, H.3
Wolf, A.4
Gruber, H.-P.5
Bertholds, A.6
-
9
-
-
0037841031
-
-
UETP Series on MEMS, edited by Dr. Hildegard Möbius, Neuchatel
-
Michel, A.; Bauer, H.-D.; Weber, L.: Course booklet Materials for Microstructures. UETP Series on MEMS, edited by Dr. Hildegard Möbius, Neuchatel (1995), S. 29
-
(1995)
Course Booklet Materials for Microstructures
, pp. 29
-
-
Michel, A.1
Bauer, H.-D.2
Weber, L.3
-
10
-
-
0030421617
-
-
Weber, L.; Ehrfeld, W.; Freimuth, H.; Lacher, M.; Lehr, H.; Pech, B.: Proc. SPIE Symp. Micromachining and Microfabrication 2879 (1996), S. 156
-
(1996)
Proc. SPIE Symp. Micromachining and Microfabrication
, vol.2879
, pp. 156
-
-
Weber, L.1
Ehrfeld, W.2
Freimuth, H.3
Lacher, M.4
Lehr, H.5
Pech, B.6
-
12
-
-
0010054829
-
-
Knitter, R.; Günther, E.; Maciejewski, U.; Odemer, C: Ber. DGK 71 (1994), S. 549-556
-
(1994)
Ber. DGK
, vol.71
, pp. 549-556
-
-
Knitter, R.1
Günther, E.2
Maciejewski, U.3
Odemer, C.4
-
13
-
-
0347436760
-
-
UETP Series on MEMS, edited by Dr. Hildegard Möbius, Neuchatel
-
Freimuth, H.; Stadel, M.: Course booklet Materials for Microstructures. UETP Series on MEMS, edited by Dr. Hildegard Möbius, Neuchatel (1995), S. 42-51
-
(1995)
Course Booklet Materials for Microstructures
, pp. 42-51
-
-
Freimuth, H.1
Stadel, M.2
-
18
-
-
0346806178
-
-
Aachen
-
Ruprecht, R.; Bacher, W.; Heckele, M.; Hanemann, T.; Mohr, J.; Piotter, V.; Haußelt, J.: Proc. IKV-Seminar Spritzgießen von Mikrostrukturen. Aachen (1997)
-
(1997)
Proc. IKV-Seminar Spritzgießen Von Mikrostrukturen
-
-
Ruprecht, R.1
Bacher, W.2
Heckele, M.3
Hanemann, T.4
Mohr, J.5
Piotter, V.6
Haußelt, J.7
-
19
-
-
0346806826
-
-
Dissertation D93, Universität Stuttgart, Stuttgart
-
Tewald, A.: Dissertation D93, Universität Stuttgart, Stuttgart (1997)
-
(1997)
-
-
Tewald, A.1
-
20
-
-
0347436759
-
-
Michel, B. (Hrsg.), Dresden
-
Weber, L.; Dasbach, U.; Ehrfeld, W.; Kuhn, R.: Proc. Micro Materials 1995, Michel, B. (Hrsg.), Dresden (1996), S. 299-305
-
(1996)
Proc. Micro Materials 1995
, pp. 299-305
-
-
Weber, L.1
Dasbach, U.2
Ehrfeld, W.3
Kuhn, R.4
-
21
-
-
25344475818
-
-
Diplomarbeit FH Darmstadt/ Institut für Mikrotechnik Mainz
-
Hörr, M.: Diplomarbeit FH Darmstadt/ Institut für Mikrotechnik Mainz 1997
-
(1997)
-
-
Hörr, M.1
-
22
-
-
0348067710
-
-
Dunkel, K.-H.; Bauer, H.-D.; Ehrfeld, W.; Weber, L.; Hörcher, G.: F&M, 105 (1997) 11-12, S. 438-442
-
(1997)
F&M
, vol.105
, Issue.11-12
, pp. 438-442
-
-
Dunkel, K.-H.1
Bauer, H.-D.2
Ehrfeld, W.3
Weber, L.4
Hörcher, G.5
-
26
-
-
0002870083
-
-
Döpper, J.; Clemens, M.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.: Proc. Actuator 96 (1996), S. 37
-
(1996)
Proc. Actuator
, vol.96
, pp. 37
-
-
Döpper, J.1
Clemens, M.2
Ehrfeld, W.3
Kämper, K.-P.4
Lehr, H.5
-
27
-
-
0347436756
-
-
Becker, H.; Lowack, K.; Manz, A.: mst news 22/97 (1997), S. 13-14
-
(1997)
Mst News
, vol.22
, Issue.97
, pp. 13-14
-
-
Becker, H.1
Lowack, K.2
Manz, A.3
-
28
-
-
0346806827
-
-
Michel, F.; Ehrfeld, W.; Lehr, H.; Wolf, A.; Gruber, H.-P.; Bertholds, A.: Proc. 41. Int. Koll. d. TU Ilmenau (1996), S. 233-236
-
(1996)
Proc. 41. Int. Koll. D. TU Ilmenau
, vol.41
, pp. 233-236
-
-
Michel, F.1
Ehrfeld, W.2
Lehr, H.3
Wolf, A.4
Gruber, H.-P.5
Bertholds, A.6
-
29
-
-
0346806823
-
-
Beckord, U.; Bessey, R.; Thürigen, Ch.: F&M 106 (1998), 1-2, S. 52
-
(1998)
F&M
, vol.106
, Issue.1-2
, pp. 52
-
-
Beckord, U.1
Bessey, R.2
Thürigen, Ch.3
|