메뉴 건너뛰기




Volumn 37, Issue 3, 2003, Pages 198-208

Manufacturing of clean silicon wafers;Die herstellung von reinstsiliciumscheiben

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTALLIN; SILICON; SILICON DIOXIDE;

EID: 0043071338     PISSN: 00092851     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/ciuz.200300280     Document Type: Article
Times cited : (4)

References (16)
  • 1
    • 0001662762 scopus 로고
    • VCH Publishers, Weinheim
    • B. W. Zulehner et al in: Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, Vol. A23, S. 721-748, VCH Publishers, Weinheim, 1993 sowie J. G. Wilkes et al in: Handbook of Semiconductor Technology, Volume 2 (Hrsg.: K. A. Jackson; W. Schröter), S. 1-66, Wiley-VCH, Weinheim, 2001.
    • (1993) Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry , vol.A23 , pp. 721-748
    • Zulehner, B.W.1
  • 2
    • 0043103581 scopus 로고    scopus 로고
    • Hrsg.: K. A. Jackson; W. Schröter, Wiley-VCH, Weinheim
    • B. W. Zulehner et al in: Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, Vol. A23, S. 721-748, VCH Publishers, Weinheim, 1993 sowie J. G. Wilkes et al in: Handbook of Semiconductor Technology, Volume 2 (Hrsg.: K. A. Jackson; W. Schröter), S. 1-66, Wiley-VCH, Weinheim, 2001.
    • (2001) Handbook of Semiconductor Technology , vol.2 , pp. 1-66
    • Wilkes, J.G.1
  • 4
    • 0042101779 scopus 로고    scopus 로고
    • Deutsches Patent DE 11 02 117 B, 1954
    • F. Bischoff, Deutsches Patent DE 11 02 117 B, 1954.
    • Bischoff, F.1
  • 5
    • 0043103689 scopus 로고    scopus 로고
    • Deutsches Patent DE 198 33 257 C1, 1999
    • G. Wenski et al, Deutsches Patent DE 198 33 257 C1, 1999.
    • Wenski, G.1
  • 6
    • 0043103690 scopus 로고    scopus 로고
    • Deutsche Patente DE 199 05 373 C2, 2000
    • siehe z. B. G. Wenski et al, Deutsche Patente DE 199 05 373 C2, 2000; DE 199 56 250 C1, 2001; DE 100 12 840 C2, 2001; DE 101 32 504 C1, 2002.
    • Wenski, B.G.1
  • 7
    • 0041600824 scopus 로고    scopus 로고
    • DE 199 56 250 C1, 2001
    • siehe z. B. G. Wenski et al, Deutsche Patente DE 199 05 373 C2, 2000; DE 199 56 250 C1, 2001; DE 100 12 840 C2, 2001; DE 101 32 504 C1, 2002.
  • 8
    • 0043103692 scopus 로고    scopus 로고
    • DE 100 12 840 C2, 2001
    • siehe z. B. G. Wenski et al, Deutsche Patente DE 199 05 373 C2, 2000; DE 199 56 250 C1, 2001; DE 100 12 840 C2, 2001; DE 101 32 504 C1, 2002.
  • 9
    • 0042101777 scopus 로고    scopus 로고
    • DE 101 32 504 C1, 2002
    • siehe z. B. G. Wenski et al, Deutsche Patente DE 199 05 373 C2, 2000; DE 199 56 250 C1, 2001; DE 100 12 840 C2, 2001; DE 101 32 504 C1, 2002.
  • 14
    • 0004165928 scopus 로고    scopus 로고
    • Hrsg.: C.Y. Chang und S.M. Sze, McGraw-Hill
    • P.-J. Wang in: ULSI Technology (Hrsg.: C.Y. Chang und S.M. Sze), S. 105-143, McGraw-Hill, 1996.
    • (1996) ULSI Technology , pp. 105-143
    • Wang, P.-J.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.