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Volumn 85, Issue 11, 1999, Pages 7893-7898

Reflection of infrared radiation from lamellar gratings on a silicon wafer

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EID: 0042760484     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.370603     Document Type: Article
Times cited : (11)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.