0.1 μm AlGaAs/InGaAs high electron mobility transistor fabrication by the new method of thinned resist pattern reversed by metal

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 14, Issue 5, 1996, Pages 3248-3251

  Tanabe, M ^a   Matsuno, T ^a   Kashiwagi, N ^a   Sakai, H ^a   Inoue, K ^a   Tamura, A ^a  

^a PANASONIC CORPORATION   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0039487731     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.588815     Document Type: Article

References (12)

1. Y. Todokoro, IEEE Trans. Electron Devices ED-7, 1443 (1980).
2. P. C. Chao, P. M. Smith, S. Wanuga, J. C. M. Hwang, W. H. Perkins, R. Tiberio, and E. D. Wolf, in IEEE Electron Devices 613 (1983).
3. A. N. Lepore, H. M. Levy, R. C. Tiberio, R. J. Tasker, H. Lee, E. D. Wolf, L. F. Eastman, and E. Kohn, Electron. Lett. 24, 364 (1988).
4. R. C. Tiberio, J. M. Galvin, and E. D. Wolf, in 1989 SPIE Electron Beam, X-ray and Ion Beam Technologies: Submicrometer Litographies (unpublished), Vol. 1089, p. 124.
5. L. D. Nguyen, D. C. Radulescu, M. C. Foisy, P. J. Tasker, and L. F. Eastman, IEEE Trans. Electron Devices 36, 833 (1989).
6. P. C. Chao, K. H. G. Duh, P. Ho, P. M. Smith, J. M. Ballingall, A. A. Jabra, and R. C. Tiberio, Electron Lett. 25, 364 (1989).
7. M. Y. Kao, P. M. Smith, P. Ho, P. C. Chao, K. H. G. Duh, A. A. Jabra, and J. M. Ballingall, IEEE Electron Device Lett. 9, 374 (1989).
8. P. C. Chao, P. Ho, K. H. G. Duh, P. M. Smith, J. M. Ballingall, A. A. Jabra, N. Lewis, and E. L. Hall, Electron Lett. 26, 27 (1990).
9. K. L. Tan, R. M. Dia, D. C. Streit, A. C. Han, T. Q. Trinh, J. R. Velebir, P. H. Liu, T. Lin, H. C. Yen, M. Sholley, and L. Shaw, IEEE Electron Device Lett. 11, 303 (1990).
10. K. L. Tan, R. M. Dia, D. C. Streit, T. Lin, T. Q. Trinh, A. C. Han, P. H. Liu, P. D. Chow, and H. C. Yen, IEEE Electron Device Lett. 11, 585 (1990).
11. K. L. Tan, R. M. Dia, D. C. Streit, L. K. Shaw, A. C. Han, M. D. Sholley, P. H. Liu, T. Q. Trinh, T. Lin, and H. C. Yen, IEEE Electron Device Lett. 12,23 (1991).
12. T. Katoh, N. Yoshida, H. Minami, T. Kashiwa, and S. Orisaka, in IEEE MTT-S International Microwave Symposium, 1993, Vol. 1, p. 337.