Effiziente prozesskette zur waferfertigung

ZWF Zeitschrift fuer Wirtschaftlichen Fabrikbetrieb

Volumn 95, Issue 3, 2000, Pages 79-82

  Klocke, Fritz ^a   Gerent, Oliver ^a   Pähler, Dietmar ^a  

^a NONE

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LAPPING; SILICON WAFERS;

CHIP-MANUFACTURING; EFFICIENT PROCESS; FRAUNHOFER; MANUFACTURING OPERATIONS; PROCESS CHAIN; PRODUCTION OPERATIONS; PRODUCTION TECHNOLOGY; SILICON DISKS; SINGLE WAFER; WAFER PRODUCTION;

GRINDING (MACHINING);

EID: 0039339101     PISSN: 09470085     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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