A new planar process for implementation of p-on-n HgCdTe heterostructure infrared photodetectors

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 4820, Issue 2, 2002, Pages 759-767

  Bahir, Gad ^a   Garber, Valery ^a   Dust, Arie ^a  

^a TECHNION ISRAEL INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Israel)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DOPING (ADDITIVES); HETEROJUNCTIONS; INDUCED CURRENTS; ION BEAMS; LIQUID PHASE EPITAXY; PHOTODIODES;

ION BEAM MILLING;

INFRARED DETECTORS;

EID: 0037986713     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.451314     Document Type: Conference Paper

References (19)

1. J. M. Arias, J. G. Pasko, M. Zandian, S. H. Shin, G. M. Williams, L. O. Bubulac, R. E. De Wames, and W. E. Tennant, J. Electron. Mater. 22, 1049 (1993).
2. J. M. Arias, J. G. Pasko, M. Zandian, S. H. Shin, G. M. Williams, L. O. Bubulac, R. E. De Wames, and W. E. Tennant, Appl. Phys. Lett. 62, 976 (1993).
3. A. I. D'Souza, L. C. Dawson, E. J. Anderson, A. D. Markum, W. E. Tennant, L. O. Bubulac, M. Zandian, J. G. Pasko, W. V. McLevige, and D. D. Edwall, J. Electron. Matter. 26, 656 (1997).
4. G. N. Pultz, P. W. Norton, E. E. Kruger, M. Reine, J. Vac. Sci. Technol. 89, 1724 (1991).
5. T. Tung, L. V. DeArmond, R. F. Herald, P. E. Herning, M. H. Kalisher, D. A. Olson, R. F. Risser, A. P. Stevens, and S. J. Tighe, Proc. SPIE 1735, 109 (1992).
6. S. P. Tobin, M. H. Weiler, M.A. Hutchins, T. Parodos, and P. W. Norton, J. Electron. Mater. 28, 596 (1999).
7. J. T. M. Wotherspoon, U. K. Patent No. 2,095,898, (1981).
8. M. V. Blackman, D. E. Charlton, M. D. Jenner, D. R. Purdy, J. M. T. Wotherspoon, C. T. Eliott, and A. M. White, Electron. Lett. 23, 978 (1987).
9. G. Bahir, E. Finkman, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 978 (1989).
10. V. I. Ivanov-Omskii, K. E. Mironov, K. D. Mynbajev, Sov. Phys.-Semicond. 24, 1379 (1990).
11. E. Beals, P. Hoschl, R. Grill, J. Franc, P. Moravec, K. Lischka, and A. Toth, Semicond. Sci. Technol. 8, 1695 (1993).
12. J. Antoszewski, C. A. Musca, J. M. Dell, and L. Faraone, J. Electron. Mater. 29, 837 (2000).
13. J. L. Elkind, J. Vac. Sci. Technolo. B 10, 1460 (1992).
14. C. T. Eliott, N. T. Gordon, R. S. Hall, G. Crimes, J. Vac. Sci. Technol. A.8, 1251 (1990).
15. G. Bahir, V. Garber, D. Rosenfeld, Appl. Phys. Lett. 78, 1331 (2001).
16. C. C. Wang, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1740 (1991).
17. A. I. D'souza, P. S. Wijewarnasuria, R. E. Dewames, G. Hildebrandt, J. Bajaj, D. D. Edwall, J. G. Pasko, J. M. Arias, J. Electron. Mater. 28, 611 (1999).
18. E. P. G. Smith, C. A. Musca, D. A. Redfern, J. M. Dell, L. Faraone, J. Vac. Sci. Technol., A17, 2503 (1999).
19. R. Haakenaasen, T. Moen, T. Colin, H. Steen, L. Trosdahl-Iversen, "Extended Abstracts The 2000 US Workshop on the Physics and Chemistry of II-VI Materials" page 199.