Depth and lateral standards made of silicon;Tiefen- und längennormale aus silizium

Technisches Messen

Volumn 68, Issue 7, 2001, Pages 326-332

  Fruhauf J ^b   Kronert S ^b   Brand, Uwe ^a  

^a PHYSIKALISCH TECHNISCHE BUNDESANSTALT   (Germany)

^b CHEMNITZ UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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FEATURE DIMENSIONS; LATERAL DIMENSION; MICRO TECHNOLOGY; OPTICAL PROFILES; SILICON MICROMACHINING; THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE;

STANDARDS; INSTRUMENTS; MEASUREMENT;

SILICON;

EID: 0037923602     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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