Problems of contour measuring on microstructures using a surface profiler

Measurement Science and Technology

Volumn 9, Issue 3, 1998, Pages 293-296

  Fruhauf J ^a  

^a CHEMNITZ UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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ANISOTROPY; ASPECT RATIO; MICROMACHINING; MICROSTRUCTURE; SPATIAL VARIABLES MEASUREMENT;

SURFACE PROFILER;

SURFACE STRUCTURE;

EID: 0032028547     PISSN: 09570233     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1088/0957-0233/9/3/001     Document Type: Article

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